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文檔簡介
1、干涉測量技術(shù)是以光波干涉原理作為基礎(chǔ)的一門測試技術(shù)?，F(xiàn)代干涉測量技術(shù)中采用激光作為光源，綜合了光學、精密機械、電子學等新成就，得到了廣泛的應(yīng)用。面形干涉儀是光學元件面形檢測中的重要設(shè)備，子孔徑拼接技術(shù)是逐漸興起的大型光學元件面形檢測方法，子孔徑拼接干涉儀在大口徑光學元件檢測中的應(yīng)用也逐漸增多。
本文以子孔徑拼接干涉儀為研究背景，研究了子孔徑拼接干涉的原理，根據(jù)拼接干涉儀的設(shè)計需求，給出了用于拼接干涉儀的精密五維運動臺的設(shè)計指標
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