反應磁控濺射法沉積CrN和TiAlN涂層及摩擦磨損特性研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、分類號：TQl74密級：公開單位代碼：10422學號：201312496J◆莨11SHANDONGUN【VER碩士學位論文ThesisforMasterDegree論文題目：反應磁控濺射法沉積CrN和TiAIN涂層及摩擦磨損特性研究InvestigationsofTribologicaiPerformanceofCrNandTiAINCoatingDespositedbyReativeMagnetronSputtering作者姓名余正海

2、余量海培養(yǎng)單位材料科學與工程學院專業(yè)名稱指導教師合作導師材料學歐陽俊教授喀天99嗾2016年5月21日7吾一原創(chuàng)性聲明本人鄭重申明：所呈交的論文，是本人在導師的指導下，獨立進行研究所取得的成果，除文中已經(jīng)注明引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的科研成果。對本論文的研究作出重要貢獻的個人和集體，均己在文中以明確方式標明。本人完全意識到本聲明的法律責任由本人承擔。論文作者簽名：會殳海日期：2016。s。之I關(guān)于學位

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