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文檔簡介
1、雙工件臺作為光刻機運動控制的核心,是對焦以及曝光中的關(guān)鍵性的設(shè)備,而公自轉(zhuǎn)系統(tǒng)作為雙工件臺換臺核心的部件,是系統(tǒng)完成快速、穩(wěn)定換臺的關(guān)鍵。本文主要對公自轉(zhuǎn)換臺系統(tǒng)進行研究。
首先,對光刻機整體結(jié)構(gòu)和功能進行簡單的分析,詳細分析了公自轉(zhuǎn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),完成了雙工件臺換臺軌跡的規(guī)劃,并確定使用三階S曲線作為換臺的跟蹤信號。
其次,針對公轉(zhuǎn)電機的存在定位振蕩的問題,設(shè)計了ZV輸入整形器,即采用零振蕩法(Zero Vibrati
2、on)設(shè)計整形器,以及設(shè)計ZVD輸入整形器,即采用零振蕩法(Zero Vibration and Derivation)設(shè)計整形器對其進行抑制。并針對傳統(tǒng)輸入整形器需要系統(tǒng)精確模型、計算參數(shù)繁瑣等缺點,設(shè)計了粒子群優(yōu)化算法對輸入整形器的參數(shù)進行優(yōu)化,并且該算法不需要系統(tǒng)的精確模型。
再次,針對公自轉(zhuǎn)系統(tǒng)換臺的同步控制問題,采用交叉耦合同步控制策略,并設(shè)計模型預(yù)測同步控制器,通過仿真分析,并與原控制系統(tǒng)進行比較,證明該同步控制策
3、略對較好的抑制同步控制誤差,并對模型預(yù)測控制中的預(yù)測模型的不確定性進行分析,證明其魯棒性比較好。
最后,設(shè)計改進的同步控制器對系統(tǒng)進行同步控制,同步控制策略采用偏差耦合同步控制,設(shè)計基于模型預(yù)測的補償器,并通過仿真分析與交叉耦合同步控制進行比較,證明其在抑制同步控制誤差上的優(yōu)越性;對于實驗室獨立研發(fā)的運動控制卡進行硬件介紹和軟件設(shè)計;最后對公轉(zhuǎn)電機的殘留振蕩問題進行實驗,實驗證明了輸入整形器的振蕩的抑制效果,對公自轉(zhuǎn)系統(tǒng)進行換
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