刀具嵌入式切削力測量用薄膜傳感器關鍵技術研究.pdf

1、精密、超精密加工技術的不斷發(fā)展,要求切削力測量傳感器及系統(tǒng)微小化、高精度、高分辨率、高響應、實時性等。研制高精度、能適應惡劣環(huán)境測量壓力要求的薄膜電阻測力傳感器具有廣闊的應用前景和很好的社會效益?；贛EMS技術,在刀具內(nèi)嵌入薄膜微傳感器測量切削力,可以直接的反應刀具工作情況,具有準確、有效、可靠性高的特點。
　　本文對嵌入刀具的薄膜傳感器測量切削力的關鍵技術做了如下研究:
　　1.分析研究了切削力測量儀及切削測量技術的現(xiàn)狀

2、及發(fā)展,特別是切削力測量用的薄膜應變傳感器的應用與優(yōu)勢,介紹了薄膜制備的方法與工藝。
　　2.在對薄膜傳感器的測力原理進行分析的基礎上設計了一種嵌入刀具的薄膜測力傳感器,具體在以下幾方面進行了設計:基片大小、薄膜傳感器在刀具表面的位置、薄膜敏感柵的形狀及阻值以及傳感器的絕緣層與保護層材料的選擇。本課題選定了Ni—Cr合金薄膜為傳感器電阻柵的材料。
　　3.將刀具—傳感器系統(tǒng)簡化為懸臂梁結(jié)構(gòu),對刀具受力、電阻柵應變、傳感器輸出