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文檔簡介
1、隨著有機薄膜電子器件的快速發(fā)展,有機半導體薄膜材料特性的研究成為近年來材料和電子研究的熱門。研究表明,薄膜的結構以及表面形貌影響薄膜的電學特性。因此,為研究有機薄膜光學特性和電學特性的聯系,本文在現有光學測量系統(tǒng)的基礎上,對電學測量系統(tǒng)以及樣品進行了改進,提出了光電聯合測量方案,實現了真空環(huán)境下有機薄膜光電特性的在線測量。
本文的主要內容如下:
1、研究了有機薄膜的光電特性以及其導電機理,分析、對比現有的有機薄膜光電
2、特性的測量方法。根據薄膜表面形貌實時監(jiān)測和電學特性實時測量的需求,設計了光學測量系統(tǒng)和可控電學測量系統(tǒng)結合的光電聯合測量方案。
2、研究了有機薄膜電學特性場效應晶體管測量法的原理,設計并制作了電學測量系統(tǒng),包括離線測量和在線測量。該測量系統(tǒng)可實現測量模式(包括定值、定時和循環(huán)等)的實時切換。在原有的光學測量系統(tǒng)光路中加入了校準光路,通過實時校準減小光譜信號的漂移。
3、研究了有機薄膜特性測量所需樣品的結構特點,設計了
3、具有梳齒狀的樣品結構。實驗表明,該結構滿足了測試需求,取得了較好的結果。
4、針對本文的測量系統(tǒng)進行性能測試,得出其電壓范圍為?0.2V~?60V,測量電流精度為100 pA,滿足了有機薄膜的測量需求(電壓±30 V,電流μA級)。利用該系統(tǒng)進行了離線和在線樣品的測試。根據測得的電學信號,得到了樣品的特性曲線和載流子遷移率等有機薄膜的電學特性參數。根據測得的光學信號,分不同區(qū)域進行分析,得到了有機薄膜的生長信息。同時測試了加電
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