SMIC引線3D尺寸在線測量方法的研究.pdf

1、該文以BGA芯片引線的3D尺寸在線測試方法為研究對象,圍繞國家自然科學(xué)基金項目“表面安裝集成電路引線三維尺寸在線測試方法的研究”（項目編號：69906001）,對SMIC的在線視覺測量進行了細致的理論研究,給出了測量系統(tǒng)參數(shù)的標定方法,進行了實驗研究和分析,獲得了滿意的結(jié)果.該文完成的主要工作如下：1.通過分析現(xiàn)有的SMIC的檢測方法及其優(yōu)缺點,針對BGA芯片的結(jié)構(gòu)特點,設(shè)計了測量的整體方案;2.建立測試系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型,確定了測試系統(tǒng)的

2、標定方法,完成了標定軟件的編程調(diào)試,并進行了攝像機參數(shù)和傳感器參數(shù)的標定實驗;3.以步進電機驅(qū)動,實現(xiàn)了被測器件的動態(tài)非接觸式掃描測量.同時,對動態(tài)誤差進行了實時補償,證明了其在線測量的可行性;4.編制、調(diào)試了測量系統(tǒng)軟件,實現(xiàn)了步進電機的控制,完成圖像的實時采集,圖像處理,測量數(shù)據(jù)提取及輸出等功能;5.在實驗室條件下進行了BGA芯片引線的三維尺寸的測量實驗,由測量數(shù)據(jù)即可計算芯片引線共面性、引線間距及高度、球形引線半徑等參數(shù).該文所論