鐵芯式直線電機定位力擾動的模型辨識與補償方法.pdf

1、隨著電子信息時代的高速發(fā)展，以集成電路為代表的超精密加工技術水平已滲透到科技民生的各個領域。直線電機作為高精度伺服系統(tǒng)的主要驅動元件之一，對集成電路芯片的高精度制造設備有著關鍵的作用，在工業(yè)生產(chǎn)和科學研究中占據(jù)了極其重要的地位。然而，受磁鋼邊緣效應的影響，直線電機在運動過程中不可避免的定位力擾動限制了其在高精度領域的應用。為了提高直線電機的控制精度，必須對定位力擾動進行補償。
　　在闡述了研制掃描光刻設備的背景及其重要意義，進而說

2、明了定位力擾動補償控制的重要意義之后，本文給出了先進行模型辨識再設計相應的補償控制器進行的總體方案。為此，本文首先從直線電機的定位力產(chǎn)生原理進行了分析，并設計了模型辨識的方案，利用最小二乘法獲取了基于位置的直線電機定位力擾動模型。隨后根據(jù)系統(tǒng)的特性，采用了改進型內(nèi)?？刂坪偷鷮W習控制，分別于系統(tǒng)的位置控制環(huán)和電流控制環(huán)設計了包含PID結構的補償控制器。通過與傳統(tǒng)控制方式的比較，仿真結果證實了上述方法的有效性。
　　其次，考慮到系統(tǒng)