環(huán)形子孔徑拼接高精度非球面檢測技術研究.pdf

1、隨著光學精密加工的發(fā)展，非球面已經(jīng)越來越廣泛地應用于各種光學系統(tǒng)中，非球面檢測方法的局限性越來越成為制約非球面發(fā)展的重要因素之一。本文所研究的環(huán)形子孔徑拼接技術是一種無需輔助元件就能檢測旋轉(zhuǎn)對稱非球面的高精度檢測技術，該技術降低了檢驗成本，同時可以消除輔助元件的設計、制造和調(diào)整誤差對最終檢測精度的影響。
　　本文介紹了非球面的相關光學性質(zhì)，介紹了目前常用的非球面檢測方法，重點討論了環(huán)形子孔徑拼接的檢測原理和實驗方法，詳細講述了環(huán)形

2、子孔徑算法，并對拼接算法進行了仿真驗證。接著，本文又針對不同的拼接參數(shù)進行進一步的仿真，在仿真設計模型中對子孔徑重疊區(qū)域大小及部分參數(shù)解算精度等因素進行了分析，從而能更好的指導實際實驗中數(shù)據(jù)的處理。最后本文利用Zygo干涉儀對一個口徑為108毫米的二次拋物面進行了環(huán)帶子孔徑拼接檢測實驗，實驗結果PV值和已知的參考結果相比相差約1.89％，RMS值相差約1.09％，拼接面形輪廓和參考結果較為一致，這進一步驗證了環(huán)形子孔徑拼接算法的可行性。