基于子孔徑拼接的非球面檢測方法研究.pdf

1、隨著光學技術的不斷發(fā)展，非球面光學元件以其優(yōu)越的光學特性被應用于多個領域，然而非球面光學元件在檢測方面的困難制約了其廣泛應用。子孔徑拼接干涉檢測技術，因具有拓展干涉儀的橫向和縱向動態(tài)范圍，能夠?qū)Ψ乔蛎孢M行低成本、高分辨率檢測的優(yōu)點而成為一個重要的研究課題。本文針對子孔徑拼接干涉檢測非球面開展了以下研究。
　　首先介紹了子孔徑拼接干涉檢測的基本原理，對各種子孔徑形狀和各種拼接模式進行了比較，在此基礎上介紹了拼接算法的基本原理，包含兩

2、兩拼接算法、全局誤差均化算法和局部誤差均化算法。其次完成了非球面子孔徑拼接檢測系統(tǒng)總體方案的設計，設計了包含非球面合成檢測機構、大口徑近平面非球面檢測機構和小口徑深度凹非球面檢測機構的三種檢測機構，進而設計了非球面檢測流程，解決了子孔徑劃分模式的優(yōu)化和檢測機構的運動規(guī)劃問題。討論了非球面檢測系統(tǒng)的誤差修正，分析了標準球面波前誤差、機構運動調(diào)整誤差和成像畸變誤差對非球面檢測的影響并給出了修正方法。然后研究了子孔徑拼接檢測算法，對包括子孔徑