小型光學非球面精密檢測技術研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在光學系統(tǒng)中采用非球面元件可以獲得高成像質量，提高光學特性，簡化系統(tǒng)結構，減小系統(tǒng)體積。一直以來，非球面元件制造難，檢測技術更是非球面制造技術中的瓶頸，各國專家和學者投入大量的人力和物力全方位地研究非球面元件的加工和檢測問題。 本課題來源于國家863計劃課題“0.1μm非接觸傳感器”、福建省“高等學?？萍紕?chuàng)新團隊培育計劃”(IRTSTFJ)和廈門大學重大科技創(chuàng)新項目“微納米加工控制與檢測系統(tǒng)研制”。根據小型非球面面形檢測的需要，

2、本文針對一種自行研制的具有接觸式和非接觸式傳感器測頭的非球面檢測平臺，完成了高精度非球面檢測平臺的搭建和測量軟件設計。文中介紹了該檢測平臺的工作原理；完成了測量軟件模塊設計；對可能存在的系統(tǒng)誤差逐項進行分析，建立了各項誤差的數學模型，重點分析了這些誤差產生原因以及減小誤差的方法，并根據誤差的類型分別提出了補償方案。 通過多次實驗以及數據處理、分析，證明自行研制、安裝和調試的非球面檢測平臺以及測量軟件達到了設計的功能要求，經過各項

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