小型光學(xué)非球面精密檢測(cè)技術(shù)研究.pdf

1、在光學(xué)系統(tǒng)中采用非球面元件可以獲得高成像質(zhì)量，提高光學(xué)特性，簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，減小系統(tǒng)體積。一直以來(lái)，非球面元件制造難，檢測(cè)技術(shù)更是非球面制造技術(shù)中的瓶頸，各國(guó)專家和學(xué)者投入大量的人力和物力全方位地研究非球面元件的加工和檢測(cè)問(wèn)題。 本課題來(lái)源于國(guó)家863計(jì)劃課題“0.1μm非接觸傳感器”、福建省“高等學(xué)?？萍紕?chuàng)新團(tuán)隊(duì)培育計(jì)劃”(IRTSTFJ)和廈門大學(xué)重大科技創(chuàng)新項(xiàng)目“微納米加工控制與檢測(cè)系統(tǒng)研制”。根據(jù)小型非球面面形檢測(cè)的需要，

2、本文針對(duì)一種自行研制的具有接觸式和非接觸式傳感器測(cè)頭的非球面檢測(cè)平臺(tái)，完成了高精度非球面檢測(cè)平臺(tái)的搭建和測(cè)量軟件設(shè)計(jì)。文中介紹了該檢測(cè)平臺(tái)的工作原理；完成了測(cè)量軟件模塊設(shè)計(jì)；對(duì)可能存在的系統(tǒng)誤差逐項(xiàng)進(jìn)行分析，建立了各項(xiàng)誤差的數(shù)學(xué)模型，重點(diǎn)分析了這些誤差產(chǎn)生原因以及減小誤差的方法，并根據(jù)誤差的類型分別提出了補(bǔ)償方案。 通過(guò)多次實(shí)驗(yàn)以及數(shù)據(jù)處理、分析，證明自行研制、安裝和調(diào)試的非球面檢測(cè)平臺(tái)以及測(cè)量軟件達(dá)到了設(shè)計(jì)的功能要求，經(jīng)過(guò)各項(xiàng)