穆勒矩陣橢偏測(cè)量實(shí)驗(yàn)平臺(tái)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、在納米技術(shù)研究和納米制造工藝等應(yīng)用領(lǐng)域，納米結(jié)構(gòu)測(cè)量方法研究日顯重要。在納米測(cè)量實(shí)際操作中，不僅需要快捷、精確地測(cè)量出納米結(jié)構(gòu)重要三維形貌尺寸，同時(shí)需要盡可能減小對(duì)被測(cè)樣品的破壞和污染。由于傳統(tǒng)納米結(jié)構(gòu)測(cè)量手段無(wú)法同時(shí)滿足上述兩點(diǎn)，本學(xué)位論文在國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)的資助下，研究穆勒矩陣橢偏測(cè)量實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)。主要工作如下：
　　完成了一種雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器的穆勒矩陣橢偏測(cè)量光路的設(shè)計(jì)，并通過(guò)分析比較關(guān)鍵元件選型，確定了光學(xué)

2、硬件組成。重點(diǎn)介紹了光學(xué)硬件平臺(tái)的設(shè)計(jì)，并結(jié)合光路設(shè)計(jì)和相應(yīng)光學(xué)元件選型，將起偏光路和檢偏光路最大程度的集成到一個(gè)光學(xué)平臺(tái)上，并以此為基礎(chǔ)開(kāi)展測(cè)量實(shí)驗(yàn)平臺(tái)控制單元的搭建和調(diào)試。
　　完成了基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步運(yùn)動(dòng)控制的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)，即通過(guò)實(shí)時(shí)采集兩個(gè)帶動(dòng)補(bǔ)償器旋轉(zhuǎn)的電機(jī)零位信號(hào)，當(dāng)兩個(gè)電機(jī)處于同步狀態(tài)時(shí)，所設(shè)計(jì)的同步信號(hào)觸發(fā)采集卡向光譜儀外部觸發(fā)接口發(fā)出光譜采集信號(hào)，完成對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)精確的同步采集。
　　在測(cè)量實(shí)驗(yàn)平臺(tái)所需的光學(xué)