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1、在真空紫外和軟X射線(XUV)光柵光譜儀系統(tǒng)的設計和優(yōu)化中,尤其在掠入射或接收角較大的情況下,像差是影響儀器分辨率的重要因素。目前,國際上存在的XUV平面對稱光學系統(tǒng)的像差理論大多針對單元件系統(tǒng),而實際應用中,XUV光學裝置都是由若干元件組合而成。在多元件軸對稱光學系統(tǒng)中,由于像差對孔徑光線坐標的影響較小,因此孔徑光線坐標通常都采用線性近似處理。但對于平面對稱光學系統(tǒng)而言,光線是斜入射的,因此,像差對光線孔徑坐標的影響通常比較嚴重;另一
2、方面,在計算多元件系統(tǒng)的波像差時,如果孔徑光線坐標采用線性近似,則系統(tǒng)波像差具有簡單的表達形式,所以我們有必要研究孔徑光線線性近似下像差精度的有效性。 本文具體研究內(nèi)容及結(jié)果如下: 1、在平面對稱衍射理論的基礎上考慮折射率的影響,推導了平面對稱折射光學系統(tǒng)的像差,結(jié)果使得反射、衍射、折射光學系統(tǒng)的像差系數(shù)可以用同一組公式表達;當入瞳沿光軸偏離光學元件表面時,修正了單元件波像差系數(shù)以及像差系數(shù)。 2、在計算雙元件平
3、面對稱光學系統(tǒng)的波像差時,采用擬合法得到孔徑光線在兩塊元件之間的三階傳輸方程;結(jié)合光線追跡解析法,推導出精確的像差系數(shù)表達式,并參考單元件波像差系數(shù),將像差表達式轉(zhuǎn)換成雙元件波像差形式。最后分析了像差式的結(jié)果,并將其總結(jié)為兩部分:1)孔徑光線線性近似下的像差系數(shù);2)孔徑光線高階形式下的像差系數(shù)修正項(包括離焦部分的高階修正項)。 3、結(jié)合光線追跡程序SHADOW和像差表達式結(jié)果對光柵光譜儀模型進行數(shù)值驗證。結(jié)果表明:1)在離焦
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