光電復(fù)合微納傳感器芯片及其在水環(huán)境重金屬檢測(cè)中應(yīng)用的研究.pdf

1、隨著城市的擴(kuò)大和大規(guī)模工業(yè)的發(fā)展，重金屬污染日益加劇。水環(huán)境中的重金屬可通過(guò)食物鏈長(zhǎng)期累積在生物體內(nèi)不可降解，在極其微量的情況下也會(huì)對(duì)各種生態(tài)系統(tǒng)產(chǎn)生不同程度的危害。因此，水環(huán)境中重金屬的現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)檢測(cè)意義重大。
　　 電化學(xué)方法作為一種直接分析技術(shù)，由于其快速、低耗、靈敏度高、易操作等優(yōu)點(diǎn)，是電分析技術(shù)中最常用的實(shí)時(shí)在線檢測(cè)手段。本文分析了基于溶出伏安法的電流型傳感器—微納電極陣列傳感器的電化學(xué)伏安特性，介紹了離子敏電位型傳感器

2、—光尋址電位傳感器的基本原理，針對(duì)傳感器微型化、集成化和無(wú)線網(wǎng)絡(luò)化這三個(gè)發(fā)展方向，設(shè)計(jì)了微電極陣列傳感器和納米帶電極陣列傳感器，并結(jié)合光尋址電位傳感器，研制了光電復(fù)合微納傳感器芯片，開(kāi)發(fā)了用于水環(huán)境重金屬監(jiān)測(cè)的無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)。研究工作受國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃（863計(jì)劃）項(xiàng)目和國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃（973計(jì)劃）項(xiàng)目的支持。
　　 本文所做的主要工作和創(chuàng)新如下:
　　 1.基于半導(dǎo)體微加工技術(shù)設(shè)計(jì)了金微電極陣列傳感

3、器，陣列中相鄰電極之間的距離與電極直徑比為10∶1;對(duì)傳感器的電位工作范圍、實(shí)際表面積及擴(kuò)散層厚度進(jìn)行了電化學(xué)表征;利用金微電極陣列傳感器可直接檢測(cè)純水背景樣本中的Pb2+和Cu2+，檢測(cè)靈敏度分別為23 nA/μg和12 nA/μg，檢出限分別為1.8μg/L和3.5μg/L。
　　 2.優(yōu)化了金微電極陣列傳感器鍍汞后的測(cè)試條件，包括溶液的pH值、富集電位與富集時(shí)間及電位掃描速率;汞膜金微電極陣列傳感器同時(shí)檢測(cè)純水背景樣本中的

4、Zn2+、Cd2+、Pb2+和Cu2+四種重金屬元素，檢測(cè)靈敏度分別為33nA/μg、19 nA/μg、65 nA/μg和23 nA/μg，檢出限分別為4.5μg/L、0.5μg/L、1.2μg/L和1.5μg/L;對(duì)海水背景樣本中的Cd2+、Pb2+和Cu2+進(jìn)行了有效測(cè)定，檢測(cè)結(jié)果與國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)分析方法—原子吸收光譜法的檢測(cè)值相符。
　　 3.研制了納米帶電極陣列傳感器，包含50個(gè)金工作電極和50個(gè)鉑對(duì)電極;對(duì)傳感器進(jìn)行了表面表

5、征和伏安特性測(cè)試，傳感器特性良好;金納米帶電極陣列傳感器直接檢測(cè)純水背景樣本中的Pb2+和Cu2+，靈敏度分別為105 nA/μg和88.5 nA/μg，檢出限為0.97μg/L和0.73μg/L;檢測(cè)海水背景樣本中Pb2+和Cu2+的濃度值分別為9.47±0.78μg/L和5.41±0.57μg/L，與原子吸收光譜法的測(cè)定值10±0.6μg/L和5±0.4μg/L接近。
　　 4.探索了環(huán)境友好的鉍膜敏感材料的伏安特性，采用鉍

6、膜金納米帶電極陣列傳感器檢測(cè)純水背景樣本中的Zn2+、Cd2+和Pb2+，檢測(cè)靈敏度分別為17 nA/μg、28 nA/μg和154.4 nA/μg，采用鉍膜納米帶電極陣列傳感器檢測(cè)Cd2+和Pb2+的靈敏度最高;
　　 5.針對(duì)水環(huán)境重金屬檢測(cè)傳感器集成化的發(fā)展方向，設(shè)計(jì)了光電復(fù)合微納傳感器芯片，將微電極陣列或納米帶電極陣列與光尋址電位傳感器集成在同一硅基底上;基于復(fù)合芯片，搭建了測(cè)試流路系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了無(wú)線傳感器網(wǎng)絡(luò)節(jié)點(diǎn)的功能;