基于ARM的激光干涉儀抗振技術(shù)研究.pdf

1、光干涉測量技術(shù)是一種非接觸式測量，具有很高的測量靈敏度和精度。干涉測量應(yīng)用范圍十分廣泛，可用于位移、長度、角度、面形等方面的測量。干涉儀以干涉條紋來反映被測件的信息，其原理是將光分成兩路，干涉條紋是兩路光光程差相同點連成的軌跡。在干涉測量中，外界振動和空氣擾動會引起兩路光光程差的變化，使干涉圖發(fā)生抖動，降低了干涉技術(shù)的測量精度，限制了干涉技術(shù)的應(yīng)用范圍。因此，設(shè)計一個完善的抗振系統(tǒng)具有重要的意義。
　　本文首先分析了振動對干涉測量

2、的影響，介紹了抗振干涉技術(shù)的研究現(xiàn)狀。然后研究了抗振干涉技術(shù)的相關(guān)原理，根據(jù)系統(tǒng)需求，提出了基于ARM的激光干涉儀抗振方案。本文設(shè)計的抗振系統(tǒng)由振動探測模塊、處理控制模塊、振動補償模塊以及移相干涉系統(tǒng)組成。振動探測模塊實現(xiàn)光強信號的探測;處理控制模塊負責(zé)對光強信號進行處理分析，并輸出控制信號;振動補償模塊通過精密電壓源改變可調(diào)諧激光器的輸出波長，對振動信號進行補償，使干涉條紋保持穩(wěn)定。
　　論文對系統(tǒng)的各功能模塊進行了分析與設(shè)計，