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文檔簡介
1、本文通過對國內(nèi)外電阻爐控制技術的發(fā)展與回顧，在介紹了常規(guī)PID控制與數(shù)字PID控制及模糊PID控制技術后，針對微電子工藝加工電阻爐的控制對象，圍繞AT89C52單片機為硬件設計核心，采用模糊自整定技術，設計出一種適用性好、控溫精度高、超調(diào)幅度小的溫度控制系統(tǒng)。
本系統(tǒng)采用MAX6675和MAX518分別作為溫度檢測電路和輸出控制電路，這不僅簡化了系統(tǒng)的硬、軟件設計，也提高了溫度檢測的精度。在系統(tǒng)中還增加了內(nèi)置Profile（熱
2、電偶）的設計，實現(xiàn)了系統(tǒng)溫度的實時監(jiān)控。系統(tǒng)硬件采用了集成化、抗干擾、隔離化技術，提高了系統(tǒng)的可靠性和抗干擾能力[1]。系統(tǒng)軟件進行了模塊化，具有較好的移植性、通用性和共享性。通過對系統(tǒng)參數(shù)設計、硬件設計、軟件設計和系統(tǒng)調(diào)試，本系統(tǒng)達到了設計要求，明顯優(yōu)于常規(guī)PID控制。
通過對微電子工藝加工電阻爐的控制效果實驗，對本系統(tǒng)與常規(guī)PID控制效果進行了對比與分析。實驗結(jié)果表明[1]，本系統(tǒng)溫度控制參數(shù)不僅完全達到系統(tǒng)設計要求，而且
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