利用硅鋸屑制備Si2N2O及其石英坩堝涂覆性能研究.pdf

1、在硅片制備各工序中,尤其是硅片的切割過程,會產(chǎn)生大量的廢棄硅屑。如何充分利用這些廢棄物,變廢為寶,成為各研究者關(guān)注的熱點(diǎn)。硅片切割鋸屑粒度較細(xì),經(jīng)簡單回收處理后具有高活性,無需做活化處理。
　　近年來,國內(nèi)外太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展使坩堝涂層材料進(jìn)一步引人注目。研究探索使用一種經(jīng)濟(jì)簡便的方法,合成高純度的氧氮化硅粉末材料,具有實(shí)用意義與應(yīng)用前景。
　　在本論文中,我們以硅片切割鋸屑為原料,通過酸洗預(yù)處理提純后,與不同形態(tài)的固

2、態(tài)氧源SiO2進(jìn)行氣-固反應(yīng)合成氧氮化硅,并在此基礎(chǔ)上研究了以石英為固態(tài)氧源的熱爆合成實(shí)驗(yàn),包括對其熱力學(xué)條件的分析和動力學(xué)過程的探討。通過調(diào)節(jié)不同形態(tài)SiO2與鋸屑的摩爾配比、反應(yīng)溫度和反應(yīng)時(shí)間等參數(shù)制備氧氮化硅粉體;將制得的粉體,在優(yōu)化的企業(yè)涂覆工藝下制備涂層;用百格刀、鉛筆硬度計(jì)、激光共聚焦顯微鏡、環(huán)境掃描電鏡驗(yàn)證涂層性能。
　　研究結(jié)果表明:1380℃/4h,硅片切割鋸屑:氣相白炭黑配比為2.0:1-2.6:1條件下和14