基于軟印制工藝有機聚合物電光調制器的研究.pdf

1、納米壓印技術相對于傳統(tǒng)的光學光刻具有成本低、效率高、分辨率高、工藝過程簡單等優(yōu)點，并且不會受到光刻曝光波長衍射極限的影響。該技術應用非常廣泛，如電子元器件、光學元件等的制作。因此，納米壓印技術已經成為國內外的研究熱點之一。
　　本文首先對聚合物的材料特性以及體系結構進行了介紹，分析了聚合物的電光特性。然后介紹了納米壓印技術，提出該技術可用于聚合物光波導的制備，通過對幾種主流的納米壓印技術進行詳細對比分析，選擇了軟壓印技術作為本文光

2、波導制備的壓印方案。接著推導出了平板波導的單模傳輸條件，使用有效折射率法對矩形波導結構進行了分析。在光波工作波長為1550nm和波導橫截面高為1.8μm的條件下，利用有效折射率法求得單模傳輸條件下矩形光波導的寬為1.6μm。然后使用OptiBPM仿真軟件對以上的矩形波導橫截面尺寸的不同Y分支角度進行仿真，發(fā)現(xiàn)在分支角度為1°時損耗最低。
　　本文也對壓印制備光波導的實驗方案進行了設計，選擇了聚二甲基硅氧烷（PDMS）作為壓印模板材

3、料，采用SU-8負性光刻膠制作出了母板圖形。對軟模板壓印過程中的受力形變進行了分析，得到了壓印力與壓印模板厚度的關系，然后對芯層的圖形轉移過程也進行了分析，確定了芯層能夠進行完全轉移圖形的涂覆最小厚度。設計好壓印實驗方案后，我們對壓印過程進行了實驗研究，經過多次的實驗分析并對實驗參數(shù)進行了優(yōu)化，最終成功壓印獲得光波導結構圖形，驗證了納米壓印用于制作聚合物光波導的可行性。本文還對M-Z聚合物電光調制器進行了制備研究，制備過程中對電暈極化后