油膜厚度的超聲測量方法及氮化鋁壓電薄膜的制備.pdf

1、潤滑對于機器很重要，潤滑油膜可以降低接觸零件間因相互運動造成的摩擦和磨損，這層油膜通常很薄，當油膜失效時，接觸表面會急劇升溫并加速磨損，最終導致機器不能正常工作。因此在線監(jiān)測油膜厚度并及時預警有著重要的工程實際意義。與電學法和光學法相比，超聲測量法沒有電隔離和透光的限制，因此有良好的應用前景。但傳統(tǒng)測量使用的換能器較為笨重，需要通過在工件表面打孔的方式進行固定。本文對超聲波油膜厚度測量方法進行了研究，研究使用磁控濺射法，將AlN壓電薄膜

2、沉積在工件表面，實現(xiàn)油膜厚度的非侵入性測量。
　　根據(jù)垂直入射聲波在三層介質(zhì)中傳播的相關理論，建立不同油膜厚度測量的諧振模型和彈簧模型。通過對兩種模型進行比較，求得反射系數(shù)、聲波頻率及膜厚的關系，得出不同模型在膜厚測量中的適用范圍。
　　采用反應磁控濺射的方法在不銹鋼上沉積AlN薄膜。設計了AlN薄膜的制備過程，并研究改變?yōu)R射功率、基底溫度、氮氣流量比等工藝條件對AlN薄膜生長的影響。使用X射線衍射儀(XRD)對薄膜結構進行