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文檔簡介
1、在許多先進(jìn)技術(shù)中,薄膜有著廣泛的應(yīng)用。要研究薄膜結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性、可靠性以及耐久性,需要更好的理解這些薄膜結(jié)構(gòu)的力學(xué)性質(zhì)。因此,有必要對薄膜的楊氏彈性模量、泊松比以及膜/基界面的粘附強(qiáng)度等進(jìn)行精細(xì)的力學(xué)表征?，F(xiàn)有測試?yán)碚撏ǔＰ枰孪燃俣ū∧さ牟此杀?或者楊氏彈性模量)為已知參量,然后確定其他參量。然而,我們知道,溫度、濕度、蝕刻方法、加工條件以及制造程序等因素,都可能會引起薄膜力學(xué)性質(zhì)的較大差異。因此,采用以往測試數(shù)據(jù)(例如泊松比)對本次實
2、驗而言是有誤差的,并且這一誤差將對本次實驗中楊氏彈性模量、膜/基界面粘附強(qiáng)度的確定都產(chǎn)生影響。所以,本課題致力于,通過對一個實驗樣品的同一組測試數(shù)據(jù)的分析,同時獲得該包衣薄膜有關(guān)楊氏彈性模量、泊松比以及膜/基界面粘附強(qiáng)度信息的研究,即所謂的同步測試技術(shù)研究。
論文主要由以下七個章節(jié)組成:
第一章主要介紹了問題的提出及研究意義,并闡述了國內(nèi)外研究現(xiàn)狀、主要研究目標(biāo)、研究內(nèi)容以及創(chuàng)新之處。
第二章介紹了論文研究
3、所需的圓薄板問題基本理論。
第三章主要介紹了薄膜/基層體系力學(xué)性質(zhì)的現(xiàn)有測試技術(shù)。
第四章提出了一種新的薄膜/基層體系力學(xué)性質(zhì)同步測試技術(shù),該技術(shù)能夠通過對同一次實驗數(shù)據(jù)的分析,同時獲得包衣薄膜的楊氏彈性模量、泊松比、膜/基界面的粘附強(qiáng)度。
第五章分析了本文提出的同步測試技術(shù)的優(yōu)越性,并將這種新的測試技術(shù)與現(xiàn)有研究工作作了比較。
第六章介紹了本文作者所作的一個驗證性實驗,通過實驗結(jié)果與理論推導(dǎo)結(jié)果
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