大角度微鏡的評估與分析.pdf

1、MOEMS（Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems）微光機電系統(tǒng)是一個具有高效率、高表現(xiàn)以及低成本等特點的，非常具有吸引力的對于一般的光學問題的解決方案。
　　Hochschule Furtwangen University已經開發(fā)了基于SOI(Silicon-On-Insulator)硅片技術的一個用于激光反射的一個微鏡系統(tǒng)。對于這個已經實現(xiàn)的微鏡系統(tǒng)來說，其基本的技術參數(shù)為，當驅動電壓為20

2、0V時，微鏡鏡面的旋轉角度為±1.9mrad，約為±0.12°。
　　本論文的目標為，選擇合理的驅動方式使微鏡鏡面能夠有一個較大的為20°轉動角度。微鏡系統(tǒng)的常用的主要的驅動方式為:磁力驅動、電熱驅動、靜電場驅動、壓電驅動和磁致伸縮驅動。在研究中，對于這些驅動的方式的各個方面，即各個驅動方式的優(yōu)缺點都進行了一個詳細的比較。最終，在各個方案的比較中選擇靜電場驅動方式以及磁力驅動方式。針對于這兩個微鏡的驅動方式，設計了一系列的不同的微