高精度平面電機性能參數(shù)測試方法研究.pdf

1、永磁平面電機直接由電磁力產(chǎn)生平面非接觸式的定位運動，結(jié)構(gòu)簡單且定位精度高、熱損耗低、響應(yīng)速度快，在IC裝備中具有廣泛的應(yīng)用前景。研究平面電機性能參數(shù)的測試方法對促進平面電機的產(chǎn)品化進程具有重要意義。本文在對平面電機磁場等主要參數(shù)的分析基礎(chǔ)上研究了永磁陣列空間磁場、推力波動、溫升的測試方法。
　　1、采用有限元方法對永磁陣列產(chǎn)生的空間磁場進行了靜磁場仿真分析。明確了該磁場的空間分布規(guī)律及幅值范圍并據(jù)此確定了霍爾探頭的擺放位置及磁場測

2、試方法。
　　2、采用解析計算的方式分析了平面電機的靜態(tài)推力波動并運用有限元方法對平面電機的動態(tài)推力波動進行了仿真分析。分析結(jié)果表明當動子沿X方向運動時，動子在X方向的受力近似成正弦分布，而在Y方向的受力約為零。結(jié)合平面電機的推力波動特性及電機尺寸設(shè)計了平面電機推力測試裝置。該機構(gòu)主要由直線電機和滾珠絲杠直線運動單元構(gòu)成，滾珠絲杠單元豎直安裝用以限定動子垂直方向位置，直線運動單元水平安裝以為平面電機測試提供負載。
　　3、建