多級三軸羅茨干泵設(shè)計方法的研究.pdf

1、近年來，受新興的大半導(dǎo)體行業(yè)的大規(guī)模發(fā)展，干泵迎來了前所未有的發(fā)展機遇。干泵應(yīng)用的領(lǐng)域在不斷的擴大，抽氣工藝也越來越復(fù)雜，要求也越來越高。本文研究的多級三軸羅茨泵即為干泵的一種。這種泵抽速較二軸式羅茨泵有較大的提升，可直排大氣。
　　本文介紹了國內(nèi)外羅茨泵研究的最新進展，對國外新推出的羅茨泵產(chǎn)品進行了總結(jié)分析;詳細介紹了單級、多級三軸羅茨干泵的抽氣原理，推導(dǎo)了其理論抽速計算公式;計算了本論文設(shè)計的三軸羅茨干泵達到穩(wěn)態(tài)時各級的壓力，

2、所消耗的功率等重要設(shè)計參數(shù)，并與二軸式羅茨干泵進行了比較;由潤滑、密封、傳動方式和轉(zhuǎn)動等方面詳細介紹了多級三軸羅茨干泵采用的結(jié)構(gòu)，同時分析了三軸羅茨泵的降噪性能。
　　在羅茨泵的設(shè)計中，轉(zhuǎn)子型線十分重要。本文介紹了三軸羅茨泵所用四葉轉(zhuǎn)子的型線方程，即四葉圓弧型和漸開線型轉(zhuǎn)子型線方程，比較了兩種轉(zhuǎn)子的面積利用系數(shù);同時還與二軸式羅茨泵所用二葉轉(zhuǎn)子進行了比較分析。
　　在羅茨泵轉(zhuǎn)子建模的過程中，由于型線方程較復(fù)雜，型線參數(shù)計算和

3、繪圖較繁瑣;而一旦設(shè)計修改，建模工作又需從頭來做。本文基于SolidWorks進行二次開發(fā)，設(shè)計人機交流界面，采用參數(shù)化設(shè)計的方法，快速生成轉(zhuǎn)子。這樣做不僅大大節(jié)省設(shè)計時間，而且設(shè)計人員不必對轉(zhuǎn)子型線方程特別熟悉，只需要了解重要設(shè)計參數(shù)的意義即可。
　　羅茨泵轉(zhuǎn)子體高速旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子間靠間隙密封來進行排氣。為了保證本設(shè)計中泵的轉(zhuǎn)子體有足夠的強度和適宜的間隙值，本文基于ANSYS對穩(wěn)態(tài)下多級三軸與二軸羅茨干泵的轉(zhuǎn)子體進行了結(jié)構(gòu)靜力分析與