大曲率半徑光學(xué)元件的測(cè)量及誤差分析.pdf

1、本文研究了一種新的菲索干涉儀測(cè)量大曲率半徑光學(xué)元件的方法，該方法使用標(biāo)準(zhǔn)平面鏡作為參考鏡對(duì)樣品的表面形貌及相關(guān)參數(shù)進(jìn)行測(cè)量并做誤差分析。實(shí)驗(yàn)及分析表明，該方法能有效解決大曲率半徑光學(xué)元件測(cè)量中參考鏡加工難度大、測(cè)量所需空間長(zhǎng)、測(cè)量精確度不高等傳統(tǒng)測(cè)量方法帶來(lái)的問(wèn)題，是一種有效的非接觸、高精度、納米級(jí)大曲率半徑光學(xué)元件形貌測(cè)量方法，具有很高的實(shí)用性。
　　在該方法中，先通過(guò)菲索干涉測(cè)量得到大曲率光學(xué)元件的表面形貌，再通過(guò)絕對(duì)測(cè)量法得

2、到參考平面鏡表面的絕對(duì)形貌，最后對(duì)這兩個(gè)形貌進(jìn)行處理，得到大曲率半徑光學(xué)元件表面的絕對(duì)面形及相關(guān)PV值、RMS值。由于商用干涉儀配套軟件不能滿足測(cè)量分析需求，我們采取商業(yè)軟件與自編程序相結(jié)合的方法，對(duì)干涉圖進(jìn)行采集、解包裹、澤尼克多項(xiàng)式分解及重新擬合等操作，并最終以圖像與數(shù)值相結(jié)合的方式表達(dá)了最終的測(cè)量計(jì)算結(jié)果。
　　本文除了對(duì)大曲率半徑光學(xué)元件的表面面形進(jìn)行測(cè)量，還對(duì)測(cè)量過(guò)程中的種種誤差進(jìn)行分析，其中包括干涉圖校準(zhǔn)誤差、絕對(duì)測(cè)量