基于Web Service的半導(dǎo)體設(shè)備Interface A標(biāo)準(zhǔn)實(shí)現(xiàn).pdf

1、中國作為目前世界最大的電子產(chǎn)品市場(chǎng)，也逐漸成為越來越重要的電子集成電路生產(chǎn)基地，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在世界半導(dǎo)體制造領(lǐng)域逐漸占有了舉足輕重的地位。作為具有高附加價(jià)值的半導(dǎo)體集成電路制造，僅僅具有龐大的生產(chǎn)規(guī)模是不夠的，先進(jìn)的技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用才是真正的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
　　本文首先從CIM（計(jì)算機(jī)集成制造）技術(shù)在半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)的重要作用入手，闡述CIM在半導(dǎo)體行業(yè)中的具體定義及組成。并由此引入半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠自動(dòng)化的概念。通過簡單回顧工

2、廠自動(dòng)化的發(fā)展歷史，介紹了半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)生的原因及現(xiàn)實(shí)意義。由半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化主要依據(jù)的通訊，控制標(biāo)準(zhǔn)及模型，介紹了目前半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)在集成電路制造過程中的各項(xiàng)應(yīng)用。由近幾年整體產(chǎn)業(yè)的壓力及發(fā)展方向，闡述了為什么要推出Interface-A系列標(biāo)準(zhǔn)。
　　主要通過以目前國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備制造公司的蝕刻設(shè)備為原型，通過對(duì)該設(shè)備的工藝流程和半導(dǎo)體行業(yè)主要標(biāo)準(zhǔn)的研究，除了設(shè)計(jì)開發(fā)了基于主流300mm晶圓集成電路制造設(shè)備的工廠自動(dòng)化接

3、口所要求的一系列基本標(biāo)準(zhǔn)之外，還進(jìn)一步設(shè)計(jì)開發(fā)了Interface-A功能。Interface-A的實(shí)現(xiàn)，主要包括利用Web Service和XML實(shí)現(xiàn)的數(shù)據(jù)采集及傳輸，以及基于技術(shù)信息保密而產(chǎn)生的訪問用戶認(rèn)證與授權(quán)管理。目前主要工廠自動(dòng)化模塊已經(jīng)通過了臺(tái)灣，韓國，新加坡及上海數(shù)家半導(dǎo)體芯片制造商的驗(yàn)收并投入生產(chǎn)線。Interface-A模塊也已經(jīng)完成了主要設(shè)計(jì)及實(shí)現(xiàn)，正處于集成測(cè)試階段。近期將會(huì)作為一項(xiàng)工廠自動(dòng)化先進(jìn)數(shù)據(jù)采集解決方案推