半導(dǎo)體工廠設(shè)備維護(hù)管理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、在半導(dǎo)體晶圓制造廠中，共有擴(kuò)散，薄膜，光刻，刻蝕，濕刻，芯片電性測(cè)量這六類設(shè)備，這些設(shè)備的維護(hù)管理工作對(duì)于晶圓的制造至關(guān)重要。
　　B公司是國(guó)內(nèi)某半導(dǎo)體晶圓制造廠，在半導(dǎo)體設(shè)備維護(hù)管理過(guò)程中，存在著人工制定工作計(jì)劃效率低下，Excel版工作計(jì)劃無(wú)法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)預(yù)警，故障設(shè)備繼續(xù)使用將導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降，工程師每日進(jìn)入廠房點(diǎn)檢設(shè)備浪費(fèi)時(shí)間，設(shè)備是否需要維護(hù)只能通過(guò)人工判斷，設(shè)備維護(hù)過(guò)程和結(jié)果不可監(jiān)測(cè)幾大問(wèn)題。
　　本文在分析以上問(wèn)題

2、的基礎(chǔ)上，提出了基于時(shí)間的設(shè)備維護(hù)優(yōu)化方案和基于規(guī)則的設(shè)備維護(hù)優(yōu)化方案，設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了一個(gè)設(shè)備監(jiān)控與維護(hù)管理系統(tǒng)，系統(tǒng)的功能包括：基于時(shí)間的設(shè)備維修工作計(jì)劃制定，基于規(guī)則的設(shè)備維修工作計(jì)劃制定，設(shè)備參數(shù)設(shè)置，維護(hù)工作通知，維護(hù)工作記錄，工作報(bào)告查看幾個(gè)功能模塊。測(cè)試及應(yīng)用情況表明，該系統(tǒng)是可行及有效的。
　　與其他同類系統(tǒng)相比，本文的研究工作主要有以下特點(diǎn)：
　　1.針對(duì)設(shè)備維護(hù)所需參數(shù)的收集問(wèn)題，通過(guò)SECS（半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

3、通信標(biāo)準(zhǔn)）通信協(xié)議和RV中間件技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備參數(shù)信息收集功能。應(yīng)用情況表明，系統(tǒng)減少了工程師定期查看設(shè)備的工作量，顯著提高了工程師工作效率。
　　2.針對(duì)設(shè)備是否需要 PM（預(yù)防性維護(hù)）只能人工判斷問(wèn)題，故障設(shè)備繼續(xù)使用導(dǎo)致的產(chǎn)品質(zhì)量下降問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了基于規(guī)則的設(shè)備維護(hù)功能，使用計(jì)算機(jī)自動(dòng)判斷取代人工判斷，應(yīng)用情況表明，系統(tǒng)提高了工程師的工作效率。
　　3.針對(duì)人工使用Excel制定工作計(jì)劃效率低下問(wèn)題，Excel版工作計(jì)劃