基于音圈電機(jī)的多自由度主動(dòng)減振系統(tǒng)研究.pdf

1、振動(dòng)、溫度和污染構(gòu)成了超精密加工的三個(gè)主要影響因素。振動(dòng)在加工領(lǐng)域幾乎無(wú)處不在。尤其在高速高精加工場(chǎng)合,振動(dòng)更是成為了影響系統(tǒng)加工精度的主要因素。
　　傳統(tǒng)的被動(dòng)減振方法對(duì)于頻率低于或者等于系統(tǒng)固有頻率的振動(dòng)干擾并沒(méi)有什么太好的減振效果,而且由于被動(dòng)減振系統(tǒng)中結(jié)構(gòu)參數(shù)的固定,其對(duì)于復(fù)雜隨機(jī)變化的振動(dòng)干擾很難有很好的減振效果。為此我們研究了主動(dòng)減振系統(tǒng)。
　　本文中主動(dòng)減振系統(tǒng)是在被動(dòng)減振系統(tǒng)的基礎(chǔ)之上增加音圈電機(jī)作動(dòng)器,利用

2、加速度傳感器測(cè)量減振對(duì)象的振動(dòng)信號(hào),經(jīng)過(guò)分析和處理之后,輸入到控制器當(dāng)中,由控制器產(chǎn)生控制量,驅(qū)動(dòng)音圈電機(jī)輸出一定的力(或力矩)或位移,來(lái)抵消或者抑制減振對(duì)象的振動(dòng)位移響應(yīng),以達(dá)到減振的目的。此系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測(cè)量減振對(duì)象振動(dòng)信號(hào),故其可以對(duì)減振對(duì)象的振動(dòng)進(jìn)行實(shí)時(shí)控制和抑制。因此,系統(tǒng)既能抑制既定頻率的振動(dòng),又能抑制隨機(jī)變化頻率的振動(dòng),克服了被動(dòng)減振系統(tǒng)的不足。
　　本文研究的基于音圈電機(jī)的六自由度主動(dòng)減振系統(tǒng)既能抑制水平方向的振動(dòng)干擾