含Cr氮化物硬質膜的退除研究.pdf

1、本文使用蒸餾水、螯合劑、氧化劑、緩蝕劑、氫氧化鉀或氫氧化鈉配制膜層退除液，對高速鋼、硬質合金、不銹鋼基體上沉積的多弧離子鍍(Ti,Al，Zr, Cr)N多組元硬質膜、(Ti，Al，Cr)N四組元硬質膜、(Ti，Cr)N三組元硬質膜進行退除?？疾榱?Ti，Al，Zr, Cr)N多組元硬質膜、(Ti,Al，Cr)N四組元硬質膜、(Ti，Cr)N三組元硬質膜退除過程中的現(xiàn)象，比較了退除液組元的不同組合、退除液組元的不同濃度、退除液組元的不同添

2、加工藝步驟下的退膜效果，分析了退膜前后樣品的表面形貌、成分和粗糙度，并對(Ti，Al，Zr, Cr)N多組元硬質膜、(Ti,Al，Cr)N四組元硬質膜、(Ti，Cr)N三組元硬質膜退除過程的反應機理進行了初步的探討。
　　針對(Ti，Al，Zr, Cr)N、(Ti,Al，Cr)N硬質膜，在恒溫條件下，將氫氧化鉀或氫氧化鈉和蒸餾水組合配制成膜層退除液，將氫氧化鉀或氫氧化鈉、螯合劑、蒸餾水組合配制成退除膜層退除液，改變退除液濃度、退除

3、液組元添加步驟對膜層進行退除，通過對退除膜層后的樣品表面形貌、成分、粗糙度對比分析表明膜層不能夠被退除掉;恒溫條件下，將氫氧化鉀或氫氧化鈉、螯合劑、氧化劑和蒸餾水組合配制成膜層退除液對膜層進行退除，改變退除液濃度、退除液組元添加步驟對膜層進行退除，通過對退除膜層后的樣品表面形貌、成分、粗糙度對比分析表明膜層被完全退除;(Ti，Cr)N三組元硬質膜的退除采取2步進行，第1步為前期預處理(退除液浸泡)，第2步采用氫氧化鈉、螯合劑、緩蝕劑、氧

4、化劑和蒸餾水組合配制成膜層退除液對膜層進行退除，改變退除液濃度、退除液組元添加步驟對膜層進行退除，通過對退除膜層后的樣品表面形貌、成分、粗糙度對比分析表明膜層被完全退除。
　　本研究結果表明，單一使用化學的方法，采用蒸餾水、螯合劑、氧化劑、緩蝕劑、氫氧化鉀或氫氧化鈉組成膜層退除液，通過改變組元組合、組元濃度、組元添加工藝步驟，實現(xiàn)了(Ti，Al，Zr, Cr)N多組元硬質膜、(Ti，Al，Cr)N四組元硬質膜、(Ti，Cr)N三組

5、元硬質膜的完全退除，并且退除膜層后的基體表面無腐蝕痕跡，保持原有的光亮度，可以二次鍍覆和使用;通過對退膜前后的樣品表面形貌、成分和粗糙度的分析，確定了退除液的最佳組元組合、退除液的最佳組元濃度、退除液的最佳組元添加工藝步驟;對于(Ti，Al，Zr, Cr)N多組元硬質膜、(Ti，Al，Cr)N四組元硬質膜，選取退膜過程中不同時間段的退膜樣品進行表面形態(tài)觀察，發(fā)現(xiàn)(Ti，Al，Zr, Cr)N多組元硬質膜、(Ti,Al，Cr)N四組元硬質