氧化鋅基液晶空間光調(diào)制器的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、空間光調(diào)制器(SLM, Spatial Light Modulator)是一種對(duì)光波的空間分布進(jìn)行調(diào)制的光學(xué)器件。光尋址液晶空間光調(diào)制器是其中的一種，基于液晶的電控雙折射效應(yīng)，采用光信號(hào)作為寫入控制信號(hào)實(shí)現(xiàn)光波調(diào)制。由于具有可光/電尋址模式切換、高速并行處理等優(yōu)勢(shì)而受到研究者們的關(guān)注，在光信息處理、光互連領(lǐng)域及光計(jì)算系統(tǒng)中有巨大的潛力。
　　不同于以往的研究，本文采用摻雜ZnO薄膜作為光敏層，采用聚合物分散液晶作為光調(diào)制層。ZnO

2、薄膜材料是當(dāng)前半導(dǎo)體領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)之一，在紫外探測(cè)方面已被證明有很大潛力。而聚合物分散液晶調(diào)制光波時(shí)對(duì)寫入光散射而不是吸收，避免了激光光束的高能量燒壞調(diào)制器，這對(duì)調(diào)制器應(yīng)用在能量很高的激光波前校正等領(lǐng)域有非常重要的意義。
　　首先，本文介紹了光尋址透射式液晶空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)模型及其工作原理，液晶實(shí)現(xiàn)振幅與相位的調(diào)制，并通過(guò)對(duì)調(diào)制器工作原理的研究分析系統(tǒng)對(duì)紫外光敏薄膜和液晶層光學(xué)和電學(xué)性能的要求。
　　其次，通過(guò)超聲噴霧熱解

3、法和溶膠凝膠法工藝技術(shù)嘗試制備紫外光敏薄膜，通過(guò)改善實(shí)驗(yàn)條件，優(yōu)化工藝參數(shù)，研究摻雜元素對(duì)ZnO薄膜的在紫外光敏效應(yīng)方面的性能改善。選擇Al、Ag、Cu作摻雜元素，研究其對(duì)薄膜的電阻和紫外響應(yīng)度的影響，最終發(fā)現(xiàn)摻Cu能增大薄膜阻抗，同時(shí)實(shí)現(xiàn)紫外光響應(yīng)，是一種良好的光信息寫入材料，可用于光尋址模式空間光調(diào)制器的光敏層。
　　再次，本文通過(guò)理論分析和實(shí)驗(yàn)手段對(duì)比研究聚合物分散液晶，通過(guò)添加甲基丙烯酸丁酯作為活性劑，降低液晶層的驅(qū)動(dòng)電壓