氧化鋅基液晶空間光調(diào)制器的關鍵技術研究.pdf

1、空間光調(diào)制器(SLM, Spatial Light Modulator)是一種對光波的空間分布進行調(diào)制的光學器件。光尋址液晶空間光調(diào)制器是其中的一種，基于液晶的電控雙折射效應，采用光信號作為寫入控制信號實現(xiàn)光波調(diào)制。由于具有可光/電尋址模式切換、高速并行處理等優(yōu)勢而受到研究者們的關注，在光信息處理、光互連領域及光計算系統(tǒng)中有巨大的潛力。
　　不同于以往的研究，本文采用摻雜ZnO薄膜作為光敏層，采用聚合物分散液晶作為光調(diào)制層。ZnO

2、薄膜材料是當前半導體領域的研究熱點之一，在紫外探測方面已被證明有很大潛力。而聚合物分散液晶調(diào)制光波時對寫入光散射而不是吸收，避免了激光光束的高能量燒壞調(diào)制器，這對調(diào)制器應用在能量很高的激光波前校正等領域有非常重要的意義。
　　首先，本文介紹了光尋址透射式液晶空間光調(diào)制器的結(jié)構(gòu)模型及其工作原理，液晶實現(xiàn)振幅與相位的調(diào)制，并通過對調(diào)制器工作原理的研究分析系統(tǒng)對紫外光敏薄膜和液晶層光學和電學性能的要求。
　　其次，通過超聲噴霧熱解

3、法和溶膠凝膠法工藝技術嘗試制備紫外光敏薄膜，通過改善實驗條件，優(yōu)化工藝參數(shù)，研究摻雜元素對ZnO薄膜的在紫外光敏效應方面的性能改善。選擇Al、Ag、Cu作摻雜元素，研究其對薄膜的電阻和紫外響應度的影響，最終發(fā)現(xiàn)摻Cu能增大薄膜阻抗，同時實現(xiàn)紫外光響應，是一種良好的光信息寫入材料，可用于光尋址模式空間光調(diào)制器的光敏層。
　　再次，本文通過理論分析和實驗手段對比研究聚合物分散液晶，通過添加甲基丙烯酸丁酯作為活性劑，降低液晶層的驅(qū)動電壓