掃描探針精密測控中若干關鍵技術的研究.pdf

1、掃描探針精密測控中若干關鍵技術的研究掃描探針精密測控中若干關鍵技術的研究Thestudyofseveralkeytechnologiesintheprecisioncontrolofthescanningprobe學科專業(yè)：儀器科學與技術研究生：王艷艷指導教師：胡曉東教授天津大學精密儀器與光電子工程學院二零一四年六月獨創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學位論文是本人在導師指導下進行的研究工作和取得的研究成果，除了文中特別加以標注和致謝之處外，論文

2、中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得天津大學天津大學或其他教育機構的學位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻均已在論文中作了明確的說明并表示了謝意。學位論文作者簽名：簽字日期：年月日學位論文版權使用授權書本學位論文作者完全了解天津大學天津大學有關保留、使用學位論文的規(guī)定。特授權天津大學天津大學可以將學位論文的全部或部分內容編入有關數(shù)據(jù)庫進行檢索，并采用影印、縮印或掃描等復制手段保存、匯編以供