微納雙重結(jié)構(gòu)特征參數(shù)檢測方法研究.pdf

1、在微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)中，激光干涉技術(shù)具有成本低、視場大、分辨率高等特點(diǎn)，因此基于激光干涉理論，利用激光干涉技術(shù)來制備具有調(diào)制現(xiàn)象的微納結(jié)構(gòu)，即微納雙重結(jié)構(gòu)，并對其特征參數(shù)進(jìn)行檢測將有重大意義。
　　本文簡要介紹了激光干涉理論和激光干涉光刻技術(shù)。利用計(jì)算機(jī)軟件對三光束、四光束、六光束激光干涉進(jìn)行模擬，通過控制入射角、空間角、偏振態(tài)等相關(guān)干涉參數(shù)，使得模擬干涉結(jié)果是具有調(diào)制現(xiàn)象的干涉圖案，并對不同干涉參數(shù)組合的調(diào)制現(xiàn)象進(jìn)行了列舉，得出了

2、調(diào)制現(xiàn)象的變化規(guī)律。
　　研究了六光束干涉模擬現(xiàn)象，將六束光分為兩組，每組三束光，同一組具有相同的入射角度，不同的空間角分布，干涉出了六邊形的微納雙重結(jié)構(gòu)。將六束光分為兩組，一組四束光，一組兩束光進(jìn)行了模擬，干涉出了正方形的微納雙重結(jié)構(gòu)。
　　用633nm小激光器搭建激光干涉實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，通過控制反射鏡、分束鏡的位置，在CCD上成像得到了三光束、四光束、六光束激光干涉調(diào)制圖，分別對其進(jìn)行圖像采集和信號處理。采用提取干涉圖像調(diào)制方