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1、隨著納米光刻、MEMS封裝、超精密加工、微電子工程、生物醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域的迅速發(fā)展,對(duì)定位平臺(tái)的定位精度要求也越來越高,定位系統(tǒng)的發(fā)展也將促進(jìn)超精密加工、精密測(cè)量及大規(guī)模集成電路等行業(yè)的發(fā)展。振動(dòng)是影響定位平臺(tái)定位精度的主要因素之一,為進(jìn)一步提高定位平臺(tái)的精度,本文針對(duì)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的氣浮定位平臺(tái)的振動(dòng)特性,重點(diǎn)研究振動(dòng)對(duì)定位精度的影響。通過設(shè)計(jì)振動(dòng)誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)對(duì)定位平臺(tái)因振動(dòng)而引起的誤差進(jìn)行實(shí)時(shí)補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)定位平臺(tái)的高精度定位。
2、針對(duì)定位平臺(tái)高精度、高動(dòng)態(tài)的運(yùn)動(dòng)特性,設(shè)計(jì)定位平臺(tái)的總體結(jié)構(gòu),并基于內(nèi)部振源的振動(dòng)特點(diǎn),建立X、Y、Z三方向的振動(dòng)的物理和數(shù)學(xué)模型,計(jì)算其固有頻率,同時(shí)建立定位平臺(tái)的機(jī)電耦合數(shù)學(xué)模型,采用PID控制與最小節(jié)拍組合控制方法,完成定位系統(tǒng)的階躍仿真分析,驗(yàn)證定位平臺(tái)能夠進(jìn)行高加速啟停的往復(fù)平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)。
基于高精度定位平臺(tái)的振動(dòng)誤差,設(shè)計(jì)基于壓電陶瓷(PZT)直接驅(qū)動(dòng)雙層平行板彈性鉸鏈形式的振動(dòng)補(bǔ)償機(jī)構(gòu),通過有限元仿真分析,研究振動(dòng)補(bǔ)
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