模塑材料表面導(dǎo)電線路的直寫技術(shù)研究.pdf

1、近年來,隨著微電子技術(shù)的快速發(fā)展和高聚物材料的廣泛應(yīng)用,傳統(tǒng)的微電子制作技術(shù)已經(jīng)不能滿足電子產(chǎn)品向多樣化、集成化、微型化等方向發(fā)展的要求。直寫技術(shù)以其無需掩模、精度高、柔性化程度高的特點,成為模塑材料表面制作導(dǎo)電線路領(lǐng)域的研究熱點。本論文從微細筆直寫技術(shù)與激光直寫技術(shù)兩個方面探討了高聚物材料表面導(dǎo)電線路的制作,為模塑結(jié)構(gòu)三維金屬線路的制作提供了新的方法和思路。
　　利用微細筆直寫技術(shù),在聚酰亞胺材料表面沉積導(dǎo)電銀膠制作了由雙臂平面

2、等角螺旋天線和雙臂圓錐對數(shù)螺旋天線復(fù)合的三維微帶天線。這兩種螺旋天線被分別進行建模和直寫加工,然后再進行復(fù)合。實驗表明,制作的三維微帶天線中導(dǎo)電膜層均勻致密,一致性好,導(dǎo)電性與粘附性好,制作工藝簡單,制作周期短。
　　提出了利用脈沖激光輔助化學(xué)鍍的方法在聚碳酸酯材料表面制作導(dǎo)電線路的工藝。用波長為1064nm的脈沖激光先在預(yù)置有活化劑的聚碳酸酯的模塑結(jié)構(gòu)表面刻蝕出設(shè)計圖形,清洗之后實施化學(xué)鍍,在聚碳酸酯材料的刻蝕區(qū)域沉積出金屬層,

3、從而得到所需圖形的導(dǎo)電線路。研究了激光功率密度、掃描速度、掃描線條長度等加工參數(shù)對刻蝕效果及金屬鍍層形貌的影響規(guī)律。通過微觀形貌、粗糙度、接觸角、紅外光譜、電子散射譜等物理、化學(xué)的表征技術(shù)探討了脈沖激光輔助化學(xué)鍍的機理,認(rèn)為激光對聚碳酸酯材料的物理粗化微融和活性劑對基體的吸附以及擴散是可以實現(xiàn)化學(xué)鍍和鍍層性能良好的主要原因。測試表明,得到的導(dǎo)電線路的表面形貌、粘附性能和導(dǎo)電性能良好。該工藝無需掩模,利用激光直寫加工,柔性化程度高,選擇性