帶通濾光片的鍍制及抗輻照性能研究.pdf

1、本文利用膜系設(shè)計軟件Analyst設(shè)計出400-800nm波段高透過兩側(cè)寬截止的帶通濾光片，帶通濾光片采用雙截止組合結(jié)構(gòu)即分別在基底兩側(cè)鍍制長波通濾光膜和短波通濾光膜，采用的高低折射率膜材分別為ZnS和MgF2。
　　分析不同沉積溫度（50℃、100℃、200℃、250℃、300℃）對單層薄膜MgF2和ZnS結(jié)構(gòu)和表面形貌的影響規(guī)律，發(fā)現(xiàn)兩種膜材都有擇優(yōu)取向，擇優(yōu)取向分別為晶面（110）和（111）。250℃鍍制的MgF2薄膜晶粒

2、尺寸、表面粗糙度、表面孔隙面積和、微觀應(yīng)力都不是很高，而且粒子尺寸和孔徑都是最小的，綜合考慮認為膜材MgF2的最佳沉積溫度為250℃；對于ZnS薄膜盡管250℃時晶粒尺寸、粒子尺寸、孔隙總面積都是各個沉積溫度中最大的，但是此溫度下?lián)駜?yōu)取向晶面（111）峰強度最高，薄膜擇優(yōu)生長飽和達到穩(wěn)定狀態(tài)，故選取250℃為鍍制ZnS薄膜的最佳沉積溫度。300℃鍍制的ZnS薄膜各個參數(shù)都驟降，可能與ZnS蒸鍍機理有關(guān)，通常ZnS先分解成Zn和S，沉積到

3、基底上再化合成ZnS。根據(jù)光學薄膜元件環(huán)境適應(yīng)性試驗方法GB/T-26331-2010對250℃鍍制MgF2和ZnS薄膜機械性能進行評價，發(fā)現(xiàn)MgF2薄膜與基底結(jié)合強度高而且耐摩擦性能比較好，可以鍍制到多膜系最外層起到保護層作用；而ZnS膜層與基底間結(jié)合強度也高但是耐摩擦性能較差，應(yīng)盡量避免將ZnS薄膜鍍制到整個膜系的最外層。
　　在電子束真空鍍膜設(shè)備ORTUS-700上采用膜材MgF2和ZnS最佳沉積溫度250℃鍍制出透過率譜形