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文檔簡介
1、ZnO作為一種寬禁帶半導(dǎo)體材料,其擁有著良好的光電性能。它具有較高的熱傳導(dǎo)性和熱穩(wěn)定性,和良好的化學(xué)性質(zhì),特別是它豐富的資源,低成本,低毒性,因此,使ZnO在許多領(lǐng)域有較大應(yīng)用前景。元素Ga,Si,Al,B和In摻雜進入ZnO可以使其性能進一步提升,應(yīng)用也會更加廣泛。近些年來,鋁摻雜氧化鋅薄膜引起了人們極大地關(guān)注,其光電性能可比ITO透明導(dǎo)電薄膜。加上其穩(wěn)定的化學(xué)性能和機械性能,可以使其適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域,例如氣敏組件,平面直角顯示器,
2、太陽能電池等。在本文中,使用脈沖激光沉積在載玻片襯底上和ITO導(dǎo)電玻璃襯底上,分別沉積Al:ZnO,并研究了薄膜的結(jié)構(gòu),形貌,電學(xué)等性能。主要結(jié)果如下:
1.改變沉積條件例如襯底溫度,氧氣分壓等,在載玻片和ITO導(dǎo)電玻璃上制備了高度c軸擇優(yōu)取向的 AZO薄膜,當(dāng)溫度較低時,在載玻片和ITO導(dǎo)電玻璃上均形成非晶薄膜。氧氣分壓過高或者過低也會生成非晶薄膜。
2.在載玻片襯底上,溫度升高會導(dǎo)致薄膜結(jié)構(gòu)變差,而在IT
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