AZO透明導(dǎo)電薄膜的制備及其光電性能的研究.pdf

1、ZnO作為一種寬禁帶半導(dǎo)體材料，其擁有著良好的光電性能。它具有較高的熱傳導(dǎo)性和熱穩(wěn)定性，和良好的化學(xué)性質(zhì)，特別是它豐富的資源，低成本，低毒性，因此，使ZnO在許多領(lǐng)域有較大應(yīng)用前景。元素Ga，Si，Al，B和In摻雜進入ZnO可以使其性能進一步提升，應(yīng)用也會更加廣泛。近些年來，鋁摻雜氧化鋅薄膜引起了人們極大地關(guān)注，其光電性能可比ITO透明導(dǎo)電薄膜。加上其穩(wěn)定的化學(xué)性能和機械性能，可以使其適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域，例如氣敏組件，平面直角顯示器，

2、太陽能電池等。在本文中，使用脈沖激光沉積在載玻片襯底上和ITO導(dǎo)電玻璃襯底上，分別沉積Al：ZnO，并研究了薄膜的結(jié)構(gòu)，形貌，電學(xué)等性能。主要結(jié)果如下：
　　 1.改變沉積條件例如襯底溫度，氧氣分壓等，在載玻片和ITO導(dǎo)電玻璃上制備了高度c軸擇優(yōu)取向的 AZO薄膜，當(dāng)溫度較低時，在載玻片和ITO導(dǎo)電玻璃上均形成非晶薄膜。氧氣分壓過高或者過低也會生成非晶薄膜。
　　 2.在載玻片襯底上，溫度升高會導(dǎo)致薄膜結(jié)構(gòu)變差，而在IT