窄帶紅外光源設(shè)計與制備.pdf

1、近年來,隨著微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的快速發(fā)展和進(jìn)步,傳感元器件發(fā)展也出現(xiàn)了小型化、低功率、低成本的趨勢。MEMS紅外光源應(yīng)運(yùn)而生,且成為紅外氣體傳感器技術(shù)研究的重點(diǎn)和熱點(diǎn)?；贛EMS技術(shù)的窄帶紅外光源更進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了窄帶濾波功能。本論文針對窄帶紅外光源進(jìn)行理論分析,實(shí)驗(yàn)研究和器件制備,提出一種新的方法,這種方法通過更改氮化鈦制備參數(shù)來調(diào)整發(fā)射譜的特性,這使得窄帶紅外光源制備工藝更加簡單,成本更低。內(nèi)容主要包括:
　　(1)分析

2、了金屬/電介質(zhì)/金屬(MDM)型的窄帶紅外光源的光學(xué)性能,并且采用傳輸矩陣的方法詳細(xì)地分析了MDM結(jié)構(gòu)的幾何參數(shù)和材料參數(shù)與對窄帶紅外光源發(fā)射譜特性的關(guān)系。
　　(2)采用有限元方法對窄帶紅外光源進(jìn)行了熱學(xué)和力學(xué)模擬分析,分析了支撐層厚度對微橋形變的影響,以及穩(wěn)態(tài)狀況下,窄帶紅外光源器件的溫度分布和、熱應(yīng)力分布、受熱膨脹變形狀況。
　　(3)采用MEMS工藝,完成了對窄帶紅外光源器件的制備。并且對窄帶紅外光源制備工藝中的多孔