晶圓傳輸機(jī)器人末端執(zhí)行器設(shè)計(jì)與關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、半導(dǎo)體加工制造業(yè)要求加工運(yùn)輸設(shè)備需要具有高潔凈等級(jí)、防靜電、高可靠性等特點(diǎn)，所以半導(dǎo)體制造環(huán)境下所用的機(jī)器人在滿足基本搬運(yùn)要求的同時(shí)還要兼顧上述特點(diǎn)，晶圓傳輸機(jī)器人在半導(dǎo)體制造業(yè)地位非常重要，所以有必要對(duì)其進(jìn)行系統(tǒng)的研究。
　　本文主要工作如下:
　　(1)分析R-θ型晶圓傳輸機(jī)器人的主體結(jié)構(gòu)，對(duì)末端執(zhí)行器的重要性能指標(biāo)，即晶圓在支撐接觸時(shí)的變形進(jìn)行了分析，奠定了末端執(zhí)行器的設(shè)計(jì)方向，確定了末端執(zhí)行器的設(shè)計(jì)方式和具體構(gòu)型，完

2、成了對(duì)滿足工位要求的末端執(zhí)行器的設(shè)計(jì)，并對(duì)先前的設(shè)計(jì)進(jìn)行了改進(jìn)。
　　(2)建立了晶圓傳輸機(jī)器人系統(tǒng)的動(dòng)力學(xué)模型，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了計(jì)算分析，得出了機(jī)器人系統(tǒng)各參數(shù)的表達(dá)式，對(duì)同步帶等效扭轉(zhuǎn)彈簧的振動(dòng)模型進(jìn)行了分析，在電機(jī)軸端建立了振動(dòng)控制模型，并仿真分析，得出了機(jī)器人末端執(zhí)行器振動(dòng)影響因子，為振動(dòng)抑制提供了控制算法基礎(chǔ)。
　　(3)針對(duì)機(jī)器人系統(tǒng)設(shè)置誤差參數(shù)，建立數(shù)學(xué)模型，通過(guò)仿真分析計(jì)算驗(yàn)證了標(biāo)定算法的可行性，編寫(xiě)了標(biāo)定