基于FPGA的差動像散離焦信號的檢測和處理技術(shù).pdf

1、離焦檢測技術(shù)作為單元技術(shù)之一，在制造二元衍射光學(xué)元件的激光直寫系統(tǒng)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。本文以像散原理為理論基礎(chǔ)，結(jié)合差動技術(shù)，對激光直寫系統(tǒng)工作中產(chǎn)生的離焦誤差信號進行檢測與處理，主要分為原理介紹，硬件設(shè)計和軟件設(shè)計三個方面：
　　 原理介紹部分詳細(xì)闡述了運用差動像散法檢測離焦信號的基本原理及基于此原理設(shè)計的差動像散離焦信號檢測光學(xué)系統(tǒng)總體設(shè)計方案，選取了合適的光學(xué)元件并對其中的關(guān)鍵參數(shù)進行了仿真、對比，甄選出合適的參數(shù)完成

2、設(shè)計。
　　 硬件部分以FPGA芯片為核心，集成了信號采集、預(yù)處理模塊，A-D(模數(shù))轉(zhuǎn)換模塊，數(shù)據(jù)傳輸模塊三大部分。信號采集、預(yù)處理模塊包括光電信號的轉(zhuǎn)換及電信號的流-壓轉(zhuǎn)換單元，低通濾波單元；A-D轉(zhuǎn)換和數(shù)據(jù)傳輸部分都在FPGA的控制下完成模擬信號到數(shù)字信號的轉(zhuǎn)換以及數(shù)字信號的傳輸工作。AD模數(shù)轉(zhuǎn)換器采用四通道同時采樣依次轉(zhuǎn)換工作方式的AD7865，既節(jié)省了空間又提高了數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換的精度；數(shù)據(jù)傳輸采用USB模式，提高了數(shù)據(jù)傳輸?shù)?/p>