基于單向離焦的差動像散監(jiān)測實(shí)驗(yàn)裝置.pdf

1、激光直寫機(jī)是制作衍射光學(xué)元件的關(guān)鍵設(shè)備，離焦檢測技術(shù)是其中的重要單元技術(shù)之一。離焦檢測的任務(wù)是為聚焦伺服系統(tǒng)提供聚焦誤差信號，使寫入光斑能夠精確聚焦，從而保證刻蝕質(zhì)量。
　　本文在傳統(tǒng)差動像散檢測方法基礎(chǔ)上，給出一種基于單向離焦的差動像散檢測方法。與差動像散離焦檢測原理相同的是，二者都是采用雙探測器進(jìn)行測量。不同的是，前者探測器分別處于焦面和近焦位置，而后者的探測器則分別處于焦前和焦后。
　　首先，本文從工程應(yīng)用角度出發(fā)，通

2、過分析單向離焦檢測的誤差影響因素，討論了探測器位置誤差對測量的影響規(guī)律，給出了離焦量與測量信號的輸出關(guān)系，優(yōu)化設(shè)計(jì)了檢測光學(xué)系統(tǒng)，搭建了實(shí)驗(yàn)裝置。
　　其次，本文設(shè)計(jì)制作了探測器信號轉(zhuǎn)換電路，實(shí)現(xiàn)了電流信號與電壓信號的低噪聲轉(zhuǎn)換。
　　第三，編制了測量數(shù)據(jù)處理軟件，采用中值濾波方法對測量噪聲進(jìn)行有效抑制，提高了監(jiān)測實(shí)驗(yàn)裝置的示值穩(wěn)定性。
　　最后，本文通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了單向離焦檢測原理的正確性，并通過實(shí)驗(yàn)與差動像散檢測方法