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文檔簡介
1、過渡金屬氧化物(NiO,TiO2,HfO2,CuxO)、固體電解質(zhì)(GeSe)、硅化物及部分有機物材料都被證實擁有阻變性質(zhì)。實際上,部分金屬氮化物材料(氮化銅、氮化鋁、氮化硅)擁有與過過渡金屬氧化物類似的電學性質(zhì),他們都是新型阻變功能材料。提出采用等離子體浸沒注入、電子回旋共振等離子體輔助脈沖激光沉積等方法,制備氮化鎳薄膜材料,研究其結(jié)構(gòu)與性能之間的關(guān)系,并結(jié)合能帶計算方法,討論這一材料是否可能成為一種阻變材料。
采用等離子體
2、浸沒注入制備氮化鎳的研究中,首先使用脈沖激光沉積方法生長Ni薄膜,再對其進行氮離子注入的摻雜。通過控制注入電壓、注入時間制備了不同的氮化鎳薄膜。利用X射線衍射儀(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、霍爾(Hall)測試系統(tǒng)等測試手段,研究了注入時間、注入電壓、退火溫度對薄膜結(jié)構(gòu)、表面形貌和電學性能的影響。
本研究嘗試使用脈沖激光沉積法制備氮化鎳薄膜材料。通過控制氮氣分壓制備了不同的薄膜材料,電學測試結(jié)果表明,本實驗條件下,采用脈
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