UHF頻段聲表面波諧振器及壓控振蕩器的研究.pdf

1、低相位噪聲聲表面波壓控振蕩器的實(shí)現(xiàn)主要依賴(lài)于低損耗、高 Q值的聲表面波諧振器和低噪聲振蕩器電路。經(jīng)過(guò)基片材料有效介電常數(shù)計(jì)算，電極材料選擇，反射柵反射系數(shù)計(jì)算，耦合模型建立，耦合模型參數(shù)提取，p矩陣迭加等步驟實(shí)現(xiàn)了諧振器的仿真設(shè)計(jì)，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)仿真程序進(jìn)行了驗(yàn)證和改進(jìn)。在仿真程序精度達(dá)到要求后，仿真分析了諧振器各個(gè)幾何結(jié)構(gòu)對(duì)性能的影響，分別設(shè)計(jì)了單端瑞利波諧振器、雙端瑞利波諧振器、表面橫波諧振器這三種諧振器結(jié)構(gòu)。
　　在對(duì)傳統(tǒng)光刻

2、工藝、苯處理lift-off工藝、反轉(zhuǎn)膠lift-off工藝進(jìn)行實(shí)驗(yàn)比較后，采用反轉(zhuǎn)膠 lift-off工藝實(shí)現(xiàn)了2.5μm、4μm線(xiàn)寬器件的制作。在測(cè)試過(guò)程中分析了聲波傳輸模式、吸聲膠、電極厚度、寄生參數(shù)等對(duì)器件的影響。最終實(shí)現(xiàn)了高Q值諧振器的研制，315MHz諧振器性能如下：?jiǎn)味薙AWR插入損耗-1.745dB，有載Q值1368.9；雙端 SAWR插入損耗-12dB，有載 Q值8668.8； STWR插入損耗-12.6dB，有載Q值

3、為7028。
　　經(jīng)過(guò)對(duì)相位噪聲計(jì)算模型的分析，針對(duì)不同的聲表面波諧振器結(jié)構(gòu)，分別設(shè)計(jì)并仿真了Collpitz振蕩器電路和環(huán)形振蕩器電路，在完成電路的制作和調(diào)試后，分析了實(shí)際環(huán)境下的噪聲來(lái)源并對(duì)電路加以簡(jiǎn)單改進(jìn)，完成振蕩器電路制作。振蕩器性能如下：?jiǎn)味酥C振器型壓控振蕩器工作頻率314.85MHz，相位噪聲-73.75 dBc/Hz@100Hz，-97.7 dBc/Hz@1KHz，二次諧波抑制13dB，輸出功率3.62dBm，調(diào)諧范