低損耗、高Q值聲表面波諧振器和低相位噪聲SAW振蕩器.pdf

1、聲表面波是在介質表面?zhèn)鞑サ膹椥圆?，通常它具有比電磁波慢五個數(shù)量級的波速。早在十九世紀聲表面波（Surface Acoustic Wave，簡稱SAW）的存在就已經得到了論述，但直到二十世紀六十年代才發(fā)現(xiàn)，在壓電基片上采用金屬叉指換能器的結構可以有效地激勵和檢測聲表面波。利用SAW表面?zhèn)鞑サ男再|可以制作包括延遲線、帶通濾波器、卷積器、諧振器、振蕩器和匹配濾波器。
　　聲表面橫波（Surface Transverse Wave，簡稱S

2、TW）是采用在兩個金屬叉指換能器之間加入短路柵的隔離板結構使剪切水平波（Shear Horizontal Wave，簡稱SH波）被嵌制在壓電基片表面上，而不是沿壓電基片內傳播的聲表面橫波形式。聲表面橫波具有比聲表面瑞利波頻率高（在同樣的工藝條件下能制作出比聲表面瑞利波頻率高約1.6倍的器件）的特點。目前聲表面波器件的制作采用超細亞微米技術，已實用的聲表面波器件的基波頻率可達2.5GHz以上。
　　本文研究了以低損耗、高 Q值聲表面

3、波（其中包括聲表面瑞利波--Rayleigh Surface Acoustic Wave，和聲表面橫波等）諧振器的工作原理、設計參數(shù)、制作工藝及其實驗結果，并且研究了以1GHz STW諧振器為頻控元件的高頻率、低相位噪聲聲表面波振蕩器，以及低相位噪聲聲表面波振蕩器的測試方法和最終的測試結果。
　　本研究采用一階溫度系數(shù)為零的壓電石英基片上制作出損耗小于5dB、有載品值因素(QL值)超過1000的一系列低損耗、高Q值聲表面波 Ray

4、leigh波或STW諧振器，頻率分別為60MHz、280MHz、739MHz和1GHz等不同頻率的高性能聲表面波諧振器。并采用噪聲系數(shù)為1.25dB的低噪聲系數(shù)放大器，精心設計電路，優(yōu)化設計布置印制電路板，用標稱頻率為1GHz的聲表面波諧振器為頻率控制元件，制作出在偏離載頻1KHz處的單邊帶相位噪聲近-120dBc/Hz、雜波抑制達80dB以上的低相位噪聲聲表面波振蕩器。
　　聲表面波諧振器的用途十分廣泛，可作為高穩(wěn)定性固定頻率振