多孔硅相對濕度傳感器的研究.pdf

1、濕度傳感器作為一種重要的傳感器，在人類生產(chǎn)生活中也發(fā)揮著舉足輕重的作用。濕度傳感器自問世以來，已經(jīng)有約兩百年的歷史，在這兩百年中濕度傳感器的發(fā)展速度驚人，現(xiàn)在已經(jīng)朝著微型化、智能化、集成化等方向發(fā)展。
　　本文從濕度傳感器的感濕材料氧化多孔硅(OPS)出發(fā)，著眼于相對濕度傳感器的結(jié)構(gòu)，比較了幾種傳統(tǒng)多孔硅相對濕度傳感器的結(jié)構(gòu)，并在此基礎(chǔ)上設(shè)計出了新的結(jié)構(gòu)，最后給出了制作該傳感器的工藝方法。本文的主要工作成果有:
　　1、探索

2、了制備多孔硅材料的新方法，新裝置，在現(xiàn)有雙槽的基礎(chǔ)上設(shè)計出了一套新的制備多孔硅材料的新裝置，該裝置可以適應(yīng)大面積以及特定位置的多孔硅的制備。
　　2、比較了傳統(tǒng)電容式濕度傳感器兩種結(jié)構(gòu)的優(yōu)劣，并在此基礎(chǔ)上設(shè)計出了本文新的結(jié)構(gòu)，并且從理論和實驗上論證了該結(jié)構(gòu)的優(yōu)點。該結(jié)構(gòu)使用了多晶硅作為加熱電路為傳感器除濕，保證傳感器的自解吸附。電極上面淀積一層鈍化層Si3N4，可以有效的防止電性能的退化，并防止潮濕、離子或其他外部沾染物等原因引起