

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡(jiǎn)介
1、本文基于微電子工藝和電化學(xué)陽(yáng)極氧化方法給出一種硅基納米多孔氧化鋁濕度傳感器,該結(jié)構(gòu)由硅基襯底、多孔氧化鋁膜和電極構(gòu)成?;诟袧駲C(jī)理和吸附-解吸附機(jī)理,該傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)濕度的檢測(cè)。在此基礎(chǔ)上,采用COMSOL仿真軟件分別構(gòu)建具有平板電極結(jié)構(gòu)和叉指電極結(jié)構(gòu)的濕度傳感器仿真模型并進(jìn)行仿真分析。本文利用直流電源(IT6874A)、低溫恒溫反應(yīng)浴(DFY-5/10℃)和計(jì)算機(jī)等裝置搭建的電化學(xué)陽(yáng)極氧化系統(tǒng),采用電化學(xué)陽(yáng)極氧化方法制備納米多孔氧化
2、鋁(NP-AAO)薄膜。通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM S-3400N)對(duì)NP-AAO薄膜的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行形貌分析,研究影響薄膜微結(jié)構(gòu)的因素,例如氧化電壓、草酸溶液濃度和氧化時(shí)間等,從而分析影響傳感器感濕特性的因素。最后設(shè)計(jì)出叉指電極掩膜版,基于微電子工藝在多孔氧化鋁膜表面上制作出叉指電極,完成傳感器的制作。
在室溫條件下,本文利用阻抗分析儀(LCR-TH2819A)、飽和鹽溶液和計(jì)算機(jī)等儀器搭建的傳感器測(cè)試系統(tǒng),分別對(duì)硅基納米多孔氧
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒(méi)有圖紙預(yù)覽就沒(méi)有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 基于多孔氧化鋁膜的硅基鍺納米異質(zhì)外延的研究.pdf
- 多孔硅薄膜濕度傳感器的研制.pdf
- 多孔硅相對(duì)濕度傳感器的研究.pdf
- 多孔硅基氧化鎢氣敏傳感器的研究.pdf
- 多孔硅基氧化鎢納米線氣敏傳感器的制備與研究.pdf
- 多孔氧化鋁和低維納米硅材料的光學(xué)特性研究.pdf
- 多孔氧化鋁及其相關(guān)納米材料研究.pdf
- 基于陽(yáng)極氧化鋁薄膜共面電極結(jié)構(gòu)電容型濕度傳感器制備及其性能研究.pdf
- 多孔陽(yáng)極氧化鋁納米模板的制備.pdf
- 納米多孔氧化鋁薄膜制備工藝的研究.pdf
- 納米有序多孔陽(yáng)極氧化鋁表面潤(rùn)濕特性研究.pdf
- 納米多孔氧化鋁的制備及其潤(rùn)濕性研究.pdf
- 有序多孔氧化鋁膜與磁性納米陣列.pdf
- 面向MEMS的多孔硅基溫度傳感器研究.pdf
- 納米多孔氧化鋁模板的制備及組裝.pdf
- 貴金屬摻雜硅基多孔硅-氧化鎢納米線氣敏傳感器的研究.pdf
- 多孔硅基復(fù)合薄膜氣敏傳感器的研究.pdf
- 采用多孔氧化鋁模板制備磁性納米線的研究.pdf
- 納米氧化鋁及其氧化鋁空心球的制備.pdf
- 基于多孔氧化鋁的納米壓印模板制備.pdf
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論