硅基納米多孔氧化鋁濕度傳感器研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、本文基于微電子工藝和電化學(xué)陽極氧化方法給出一種硅基納米多孔氧化鋁濕度傳感器，該結(jié)構(gòu)由硅基襯底、多孔氧化鋁膜和電極構(gòu)成。基于感濕機(jī)理和吸附-解吸附機(jī)理，該傳感器可以實現(xiàn)對濕度的檢測。在此基礎(chǔ)上，采用COMSOL仿真軟件分別構(gòu)建具有平板電極結(jié)構(gòu)和叉指電極結(jié)構(gòu)的濕度傳感器仿真模型并進(jìn)行仿真分析。本文利用直流電源(IT6874A)、低溫恒溫反應(yīng)浴(DFY-5/10℃)和計算機(jī)等裝置搭建的電化學(xué)陽極氧化系統(tǒng)，采用電化學(xué)陽極氧化方法制備納米多孔氧化

2、鋁(NP-AAO)薄膜。通過掃描電子顯微鏡（SEM S-3400N）對NP-AAO薄膜的微結(jié)構(gòu)進(jìn)行形貌分析，研究影響薄膜微結(jié)構(gòu)的因素，例如氧化電壓、草酸溶液濃度和氧化時間等，從而分析影響傳感器感濕特性的因素。最后設(shè)計出叉指電極掩膜版，基于微電子工藝在多孔氧化鋁膜表面上制作出叉指電極，完成傳感器的制作。
　　在室溫條件下，本文利用阻抗分析儀(LCR-TH2819A)、飽和鹽溶液和計算機(jī)等儀器搭建的傳感器測試系統(tǒng)，分別對硅基納米多孔氧

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