應(yīng)用于生物傳感器的硅基有序多孔硅的研究.pdf

1、硅基多孔硅是一種新型的傳感器基體材料。由于其具有較高的比表面積、可調(diào)諧的光學(xué)結(jié)構(gòu)、高的表面化學(xué)活性以及制備工藝簡單等優(yōu)點，近年來作為新型傳感器的基體材料得到廣大研究者的極大關(guān)注，尤其是其還具有較好的生物兼容性，而且能與現(xiàn)有的集成電路硅工藝兼容，因此基于硅基多孔硅的光學(xué)生物傳感器被廣泛的研究。多孔硅的微觀形貌結(jié)構(gòu)（比如孔徑、孔隙率、層厚等）以及其光學(xué)性能主要依賴于其制備工藝參數(shù)，因此對多孔硅制備工藝的研究是解決多孔硅在傳感器技術(shù)中實際應(yīng)用

2、問題的重要途徑。
　　本論文主要是利用電化學(xué)方法在n型單晶硅上得到硅基納米有序多孔硅，探討研究了腐蝕液組成、電流密度、腐蝕時間等對多孔硅微觀形貌結(jié)構(gòu)的影響規(guī)律;并通過研究得到消除多孔硅表面小孔硅問題的解決方案;研究了多孔硅基于法布里-珀羅干涉效應(yīng)的光學(xué)性能。具體內(nèi)容如下:
　　(1)采用乙醇和異丙醇做腐蝕液的溶劑，分別制備出了介孔多孔硅和宏孔多孔硅;研究了電流密度和腐蝕時間對多孔硅微觀形貌的影響，隨著電流密度的增大，多孔硅的