硅光波導(dǎo)及器件結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、隨著人們對于信息傳輸需求的不斷提高，光通信技術(shù)被廣泛應(yīng)用。從光纖被發(fā)明以來的幾十年時間里，光通信技術(shù)取得了長足的進(jìn)步。作為光通信技術(shù)的基石，各類光通信器件不斷從理論研究到研發(fā)、改進(jìn)，然后投入應(yīng)用。這些光通信器件的使用使得光通信速度越來越快，距離越來越遠(yuǎn)，成本越來越低，使所有人都能享受到光通信技術(shù)帶來的便捷、高速的通訊服務(wù)。
　　 本文以眾多光通信器件中的一類----硅光波導(dǎo)以及基于硅光波導(dǎo)的器件為研究對象。分析了硅狹縫光波導(dǎo)的色

2、散特性，得到了不同橫截面參數(shù)對波導(dǎo)色散的影響情況，提出選擇合適的波導(dǎo)橫截面參數(shù)可以用于光鏈路的殘余色散補償，同時研究了基于硅狹縫光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的定向耦合器，分析了在不同波導(dǎo)橫截面參數(shù)以及波導(dǎo)間隙的情況下，耦合系數(shù)的變化趨勢。提出硅狹縫光波導(dǎo)定向耦合器可以同時完成光鏈路色散補償和波分復(fù)用或者分光檢測的思路。最后本文研究了一種基于硅波導(dǎo)的MOS電容電極的硅基馬赫-曾德爾電光調(diào)制器，主要研究其調(diào)制特性與調(diào)制臂在不同橫截面參數(shù)和摻雜濃度下的相關(guān)關(guān)系