光波導(dǎo)近場(chǎng)光學(xué)顯微檢測(cè)關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf

1、光波導(dǎo)的近場(chǎng)光學(xué)顯微檢測(cè)是近年出現(xiàn)的一種新型檢測(cè)技術(shù),該文對(duì)此技術(shù)進(jìn)行了初步的理論和實(shí)驗(yàn)研究.對(duì)近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡而言,光纖探針制備與探針-樣品間距控制是保證成像質(zhì)量的兩個(gè)關(guān)鍵因素.在光纖探針制作方面,該論文提出了一種變溫腐蝕制備光纖探針的新方法,獲得了35~52度的大錐角光纖探針;進(jìn)一步對(duì)光纖探針腐蝕成形過(guò)程進(jìn)行定量研究,發(fā)現(xiàn)當(dāng)光纖直徑腐蝕減小到一定程度以后,腐蝕速度隨直徑變小而加快;通過(guò)對(duì)多次實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行擬合,得出了光纖直徑隨腐蝕時(shí)間變

2、化的定量經(jīng)驗(yàn)公式;借助該經(jīng)驗(yàn)公式從理論上定量模擬了變溫法獲得大錐角針尖的過(guò)程.在探針-樣品間距控制技術(shù)方面,分別對(duì)超聲共振法和雙壓電晶片法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,設(shè)計(jì)加工了一個(gè)超聲共振法分時(shí)驅(qū)動(dòng)檢測(cè)電路,采用鎖相檢測(cè)技術(shù)測(cè)量了不同長(zhǎng)度的雙晶片的共振峰,得到了雙壓電晶片共振振幅隨探針-樣品間距減小的變化曲線.為了檢測(cè)大尺寸光波導(dǎo),搭建了一套大范圍近場(chǎng)光學(xué)顯微鏡,其檢測(cè)范圍可達(dá)到80mm×80mm,并測(cè)量得到了光波導(dǎo)表面的光強(qiáng)隨探針樣品間距變化曲線