基于探針測試儀的電參數(shù)測試.pdf

1、隨著集成電路的快速發(fā)展,對測量其上的半導(dǎo)體器件各種參數(shù)要求越來越高,其中電壓和電阻是主要的測量對象。目前探針測試儀采用多探針法測量電參數(shù)的方法應(yīng)用比較廣泛,而傳統(tǒng)的探針測試儀測量效率較低、精度低和測量的參數(shù)較少。因此需要開發(fā)一套基于探針測試儀的高性能測量儀器。
　　 本論文論述了國內(nèi)國外的半導(dǎo)體測量儀的發(fā)展?fàn)顩r,在改造后的ST-103A探針測試儀的基礎(chǔ)上并結(jié)合單片機(jī)技術(shù)和人機(jī)界面技術(shù)組成了一套測量電參數(shù)的測量系統(tǒng)。該儀器的主要功

2、能是對貼片元器件進(jìn)行電參數(shù)(電壓、電阻)測量和功能測試,操作簡便,工作效率高和成本低等特點(diǎn)。
　　 在自動控制方面,引入了步進(jìn)電機(jī)來控制探針平臺在X、Y和z軸上的移動,實(shí)現(xiàn)了探針平臺的移動自動化,X、Y軸的步進(jìn)分辨率可以達(dá)到0.0095mm,移動的速度可達(dá)1.9mm/s；在視頻監(jiān)控方面,引入視頻監(jiān)控系統(tǒng)后,操作者可以在PC機(jī)上清楚地觀察載物臺移動和測量情況；在測量電路方面,設(shè)計了電壓測量電路和電阻測量電路,可以對貼片元器件的電參

3、數(shù)(電壓、電阻)實(shí)現(xiàn)精確測量,測量的精度可達(dá)12位,其中電壓測量電路的測量電壓范圍為.10V～10V:編寫串口通信模塊使PC機(jī)能夠與單片機(jī)實(shí)現(xiàn)實(shí)時通信:設(shè)計人機(jī)控制界面方便操作者在PC機(jī)上控制探針測試儀的測量活動。
　　 本論文的特點(diǎn)是:基于改造后的探針測試儀測試貼片元器件的電參數(shù),并在下位機(jī)系統(tǒng)中加入了視頻監(jiān)控和步進(jìn)電機(jī)控制技術(shù),在上位機(jī)中使用了MFC設(shè)計人機(jī)界面,操作者通過人機(jī)界面控制探針測試儀可以有效的提高測試效率和可靠性