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1、微波移相器是能改變電磁波相位的器件，廣泛應(yīng)用于電子通信系統(tǒng)中，是相控陣?yán)走_(dá)、合成孔徑雷達(dá)、雷達(dá)電子對(duì)抗、衛(wèi)星通信、接收發(fā)機(jī)中的核心組件。因此高性能的移相器在這些系統(tǒng)中起著至關(guān)重要的作用。但傳統(tǒng)微波移相器存在尺寸大、功耗高的缺點(diǎn)，無(wú)法滿足電子通信系統(tǒng)日新月異的發(fā)展。而MEMS移相器具有高品質(zhì)因數(shù)、低插損、低功耗和高隔離度的優(yōu)點(diǎn)，彌補(bǔ)了傳統(tǒng)移相器的不足，是國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。
本論文正是基于上述分析，以MEMS移相單元為主要的研
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