硅切割廢料制備三乙氧基硅烷的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、近年來,隨著太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)和電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,大量的單晶硅和多晶硅需要切割成符合工程要求的硅片。目前游離磨料多線切割是生產(chǎn)硅片的主要工藝,在晶體硅切割過程中超過40%的硅屑進(jìn)入到切割廢料,同時(shí)切割廢料中還包括切削液聚乙二醇和磨料碳化硅,如果不做妥善處理,不僅污染環(huán)境而且浪費(fèi)資源,因此回收利用廢料特別是廢料中的硅粉具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。目前,對(duì)于硅切割廢砂漿中碳化硅和切削液的回收相對(duì)成熟,對(duì)于其中的硅粉也有物理法和化學(xué)法方面的研究但

2、仍未實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。本研究針對(duì)目前硅切割廢砂漿回收技術(shù)中硅粉回收不成熟的問題,提出一種化學(xué)法間接回收廢砂漿中硅粉的工藝即以硅切割廢砂漿中的硅粉為原料制備三乙氧基硅烷,探索了該工藝中各種因素對(duì)原料轉(zhuǎn)化率和產(chǎn)品選擇性的影響,得出了最佳工藝條件,其主要研究?jī)?nèi)容如下:
  首先,對(duì)硅切割廢砂漿各組分的含量進(jìn)行化學(xué)分析得出該廢砂漿中PEG、硅粉、碳化硅和金屬雜質(zhì)的含量分別為24-26%、33-34%、35-37%和3-4%,接著對(duì)廢砂漿進(jìn)行預(yù)處

3、理得到硅與碳化硅的混合砂粉,進(jìn)一步確定了混合砂粉中硅的含量為48.8%,并對(duì)混合砂粉粒徑進(jìn)行表征,接近一半粒徑范圍集中在0.3~2μm之間,超過90%的粒徑小于20μm;
  然后,通過硫酸銅法制備氯化亞銅催化劑,并考察了反應(yīng)溫度和攪拌速度對(duì)催化劑比表面積的影響,從而確定了催化劑制備的最佳反應(yīng)溫度為45℃、最佳攪拌速度為600r/min,同時(shí)對(duì)最佳條件下產(chǎn)物作XRD和SEM表征;
  最后,把預(yù)處理后的混合砂粉中的硅和無(wú)水乙

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