乙硅烷的合成工藝研究.pdf

1、乙硅烷作為一種電子氣體，主要用于太陽能電池以及電子產(chǎn)品中。目前，太陽能電池及電子產(chǎn)品中所用到的非晶硅的生產(chǎn)中，非晶硅薄膜大部分采用硅烷作為淀積源。但乙硅烷與其相比，具有沉積速度快、沉積溫度低的優(yōu)點(diǎn)，因此乙硅烷的市場(chǎng)前景很大。
　　本實(shí)驗(yàn)基于實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有條件，選擇了鹵代乙硅烷還原法來制取乙硅烷氣體。乙硅烷是一種極度危險(xiǎn)的氣體，其含量在0.2％以上時(shí)，遇到空氣會(huì)瞬間燃燒，發(fā)生爆炸。由于這種危險(xiǎn)性，本實(shí)驗(yàn)中需要前期對(duì)反應(yīng)物進(jìn)行處理，然后探

2、索并確定了一套安全的實(shí)驗(yàn)室制取乙硅烷的工藝路線。
　　通過對(duì)比試驗(yàn)，確定了該方法的最優(yōu)反應(yīng)條件。最佳反應(yīng)溫度為0℃。得出將 NaAlH4加入 Si2Cl6中、以及加入反應(yīng)物 Si2Cl6為計(jì)算量的2倍且加入 NaAlH4為計(jì)算量時(shí)，得到的乙硅烷的純度更高。
　　實(shí)驗(yàn)中得到的合成氣主要通過氦離子化氣相色譜儀進(jìn)行檢測(cè)，使用氣質(zhì)聯(lián)用儀進(jìn)行輔助檢測(cè)。在檢測(cè)過程中，設(shè)計(jì)了氣相色譜儀在線進(jìn)樣檢測(cè)系統(tǒng)，并通過檢測(cè)數(shù)據(jù)，確定了進(jìn)樣壓力，保證